充气座结构及应用其的充气柜的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种充气座结构及应用其的充气柜，该充气座结构包括一基体，基体上分别形成有供锁设充气阀件的充气安装孔及供锁设排气阀件的排气安装孔，且该基体内部形成有一主流通道，该主流通道于邻近基体的前、后端面分别形成有一能锁设一管路接头或一止付螺栓的第一锁接部及一第二锁接部，基体的各该充气安装孔与主流通道间具有一相互连通的分流通道。本实用新型充气座结构可分别被应用手动收纳或机械手臂收纳，而仅需将基体水平旋转，并令管路接头可选择性锁接于主流通道的第一锁接部或第二锁接部，如此即可令基体上的各该充气阀件变换位置，以适用不同的收纳方式，使该充气座结构具有共享性及模块化，无需另外分类制造，而能节省后制加工时间，且易于维修及组配。
【专利说明】充气座结构及应用其的充气柜
【技术领域】
[0001]本实用新型关于一种充气的【技术领域】，特别是指一种可换面使用的充气座结构及应用其的充气柜。
【背景技术】
[0002]目前光罩于制作、清洗、操作与储存、运输的过程中，不论置于容置光罩的光罩传送盒或无尘室的环境中，均存在有不少的微粒、水气、气体、化学溶剂分子等有害物质，这些有害物质会附着于光罩表面，且在储存过程中或曝光制作工艺加热后，这些有害物质会在光罩表面产生微粒附着、结晶或雾化等现象，以黄光微影制作工艺为例，其会直接影响到光罩的透光率，进而使光罩上的图形失真，其会造成晶圆合格率降低的现象，且增加清理与改善的时间，造成生产量降低，相对也会提高营运的成本。
[0003]为了解决这个问题，而在半导体制作工艺中，通常运用自动化物料搬运系统(Automated Material Handling System, AMHS)与隔离进出料标准机械接口(StandardMechanical Interface, SMIF)等设备,来进行光罩于不使用期间的储存与运送，以取代传统人工搬运、降低无尘室设备的建设与维护成本，同时能提升光罩的洁净度，达到超高的生
产合格率。
[0004]而根据半导体厂中AMHS与SMIF的技术概念，除了在制作工艺使用时，光罩在运送过程或保存期间，都必须放置在一个高洁净度、气密性佳与低气体逸出(Outgassing)的光罩传送盒(Reticle SMIF Pod，RSP)内。而为了提高前述光罩传送盒的洁净度，通常会在前述密封式光罩传送盒内充填干净的惰性气体(如氮气(N2))，以减少有害气体的危害，然而受限于光罩传送盒气密性不足的问题，通常在一段时间后，即会因漏气而失去效果，故近年来业界进一步开发有注入循环洁净气体的充气座，该充气座并可被设计应用于各种设备上，如制作工艺设备旁的进出料工作站、储存用的充气柜或运输设备等，供对每一个光罩传送盒进行独立的循环充气。
[0005]而现有已知的充气座主要由一板体所构成，板体上分设有对应光罩传送盒进行充、排气的充、排气阀件，以提供洁净气体至光罩传送盒。前述充气座在使用上时面临最大的问题是，当以手动收纳或机械手臂自动收纳该光罩传送盒时，受限于作业环境与模式，该光罩传送盒置于充气座上的方向刚好相反，且为了维持气体于该光罩传送盒内流动的顺畅及有效性，其进气位置由光罩传送盒的同一固定方向进入，如此造成用于手动收纳或机械手臂自动收纳的充气座无法共享。
[0006]再者，现有充气座的进、排气阀件通过接头零件、管路连接至供应洁净惰性气体的气源，无形间增加结构的复杂度，而造成组配的不便，且接头与管路需以束带等固设于各充气座的板体底面，不仅零件尺寸无法一致化及简单化，使增加后制加工时间及交期，同时给人杂乱的感觉，又因固定方式及位置无法统一，也造成机械手臂进出抓取光罩传送盒的不便，稍一不慎即可能发生碰撞或勾勒前述接头与管路的状况，影响工作进行的顺畅与效率，且外露的管路也可能因外在因素而破裂漏气，造成气体的浪费，甚至引发危险，因此如何解决这些问题，是相当重要的课题。
实用新型内容
[0007]有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种充气座结构，以能使该充气座结构共享于手动收纳或机械手臂收纳的充气柜，且可简化构件，并可提高其制造的合格率，从而降低其制造成本；以使进、排气回路形成于内部，而无外露的管路，而减少零件与管路的干扰与损坏，且应用于充气柜时，可有效缩小上、下相邻充气座结构的间距，以增加充气柜的收纳量。
[0008]为了达成上述目的，本实用新型提供一种充气座结构，其承载有一光罩传送盒，且该光罩传送盒的底面分别具有至少两个充气阀及至少两个排气阀，该充气座结构包括:
[0009]至少两个充气阀件，其对应与该光罩传送盒的充气阀形成气体连通；
[0010]至少两个排气阀件，其对应与该光罩传送盒的排气阀形成气体连通；以及
[0011]一基体，其周缘并分别设有一前端缘、一后端缘、一左侧端缘及一右侧端缘，且该基体上、下分别设有一上表面及一下表面，而该基体的上表面分别具有至少两个供各该充气阀件锁掣的充气安装孔，且该基体的上表面分别具有至少两个供各该排气阀件锁掣的排气安装孔；该基体的内部于前、后端缘的端面间具有一主流通道，且该主流通道于邻近前、后端缘的端面处分别具有一用以选择性锁设一管路接头或一止付螺栓的一第一锁接部及一第二锁接部，而该基体的各该充气安装孔与主流通道间具有一相互连通的分流通道，该分流通道于开口端具有一用以选择性锁设一止付螺栓的锁接部，且各该排气安装孔具有至少一个排气通道。
[0012]作为上述一种充气座结构的优选方案，其中该基体的上表面的周缘角落分别设有一用以供光罩传送盒定位的L形定位框。
[0013]作为上述一种充气座结构的优选方案，其中该基体于对应前、后端缘的相邻定位框间分别形成有一位于正中央且用以供一机械手臂进出的正缺口。
[0014]作为上述一种充气座结构的优选方案，其中该基体于对应左、右侧端缘的相邻定位框间分别形成有一偏位缺口，各该偏位缺口位于左、右侧端缘的对应斜角处，并组装有一用以射频识别的读取元件。
[0015]作为上述一种充气座结构的优选方案，其中该主流通道位于该基体两侧间的中央位置。
[0016]作为上述一种充气座结构的优选方案，其中该基体的排气通道形成于各该排气安装孔的底面且贯穿该基体的下表面。
[0017]作为上述一种充气座结构的优选方案，其中该基体的各该充气安装孔与各该排气安装孔的周缘表面于该充气阀件与该排气阀件内形成有一道环状槽，且该环状槽内埋设有一能压掣变形的密封件。
[0018]本实用新型还提供一种充气柜，包括:
[0019]一柜体，其具有至少一个架杆，且该架杆的外部周围覆设有一侧板；以及
[0020]至少一个如上述的充气座结构，其固设于该柜体的架杆中。
[0021]本实用新型还提供又一种充气座结构，其承载有一光罩传送盒，且该光罩传送盒的底面分别具有至少一个充气阀及至少一个排气阀，该充气座结构包括:[0022]至少一个充气阀件，其对应与该光罩传送盒的至少一个充气阀形成气体连通；
[0023]至少一个排气阀件，其对应与该光罩传送盒的至少一个排气阀形成气体连通；以及
[0024]一基体，其具有用以相对供至少一个充气阀件锁掣的至少一个充气安装孔，及用以相对供至少一个排气阀件锁掣的至少一个排气安装孔；该基体更具有一主流通道，其设置于该基体的内部并能锁设于该基体的二相对端缘面。
[0025]本实用新型的充气座结构，其可分别被应用手动收纳或机械手臂收纳，而仅需将充气座结构的基体水平转动180度，并令管路接头可选择性锁接于主流通道的第一锁接部或第二锁接部，如此即可令基体上的各该充气阀件变换位置，以适用不同的收纳方式，使本实用新型充气座结构具有共享性，而无需另外分类制造；再者，其主流通道与分流通道形成于基体的内部，可避免发生如已知因管路外露而造成破裂漏气的现象，也不会造成机械手臂进出抓取光罩传送盒的不便，确保工作进行的顺畅与效率，再加上相邻充气座结构的基体间无零件或管路等设置，如此可有效节省空间，大幅增加同一充气柜柜体存放量；同时其基体由于零件、尺寸及锁接位置可以一致化，而能节省后制加工时间，且可易于维修及组配。
【专利附图】
【附图说明】
[0026]图1为本实用新型充气座结构的外观示意图；
[0027]图2为本实用新型充气座结构的立体分解示意图，供说明其元件状态及相对关系;
[0028]图3为本实用新型的充气座结构于水平旋转后另一实施状态的外观示意图；
[0029]图4为本实用新 型的充气座结构实际用于充气柜的外观示意图。
[0030]【主要元件符号说明】
[0031]10-充气座结构；11-基体；111_前端缘；112_后端缘；113_左侧端缘；114_右侧端缘；115_上表面；116_下表面；12_定位框；121-正缺口 ；122_偏位缺口 ；13_充气安装孔；14_排气安装孔；15_主流通道；151-第一锁接部；152_第二锁接部；155_管路接头；156-止付螺栓；16_分流通道；161-锁接部；165_止付螺栓；17_排气通道；18_环状槽；19-密封件；
[0032]20-充气阀件；
[0033]30-排气阀件；
[0034]40-读取元件；
[0035]50-光罩传送盒；55_进气阀；56_排气阀；
[0036]60-柜体；61_架杆；65_侧板；66_门板。
【具体实施方式】
[0037]本实用新型提供一种充气座结构及应用其的充气柜，随附图例示的本实用新型具体实施例及其构件中，所有关于前与后、左与右、顶部与底面、上部与下部、以及水平与垂直的参考，仅用于方便进行描述，并非限制本实用新型，亦非将其构件限制于任何位置或空间方向。[0038]本实用新型充气座结构的详细构成，请参照图1、图2所示，该充气座结构10由一基体11所构成，供承载一光罩传送盒50，该光罩传送盒50的底部具有至少两个对应的进气阀55及两个对应的排气阀56，且基体11上设有至少两个充气阀件20及至少两个排气阀件30，基体11的各该充气阀件20与各该排气阀件30分别对应前述光罩传送盒50的进气阀55、排气阀56，使充气座结构10可对该光罩传送盒50进行充、排气。
[0039]而该基体11的周缘并分别设有一前端缘111、一后端缘112、一左侧端缘113及一右侧端缘114,且基体11上、下分别设有一上表面115及一下表面116 ;又该基体11的上表面115周缘角落分别设有一 L形定位框12，各该定位框12可对应光罩传送盒50的角落轮廓，让光罩传送盒50可被导引定位于基体11的上表面115,且基体11对应前端缘111、后端缘112的相邻定位框12间分别形成有一正缺口 121，各该正缺口 121适位于前端缘111、后端缘112的中央，以便于机械手臂进出；又基体11对应左侧端缘113、右侧端缘114的相邻定位框12间分别形成有一偏位缺口 122，各该偏位缺口 122位于左侧端缘113、右侧端缘114的对应斜角处，以便于组装一射频识别(RFID)的读取元件40。
[0040]再者，基体11上于对应前述各该充气阀件20与各该排气阀件30处分别形成有一充气安装孔13及一排气安装孔14，又基体11内部于前端缘111、后端缘112的端面间形成有一主流通道15，且主流通道15位于基体11两侧间的中央位置，以便于管路串接；又该主流通道15于邻近前端缘111、后端缘112的端面处分别形成有一第一锁接部151及一第二锁接部152，供分别选择性锁设一管路接头155或一止付螺栓156 ;又基体11的各该充气安装孔13与主流通道15间具有一相互连通的分流通道16，该分流通道16于邻近左侧端缘113、右侧端缘114中的任一端面处具有开口，且开口上形成有一锁接部161，供选择性锁设一止付螺栓165，使气体可经由主流通道15与分流通道16进入充气安装孔13内。另外，前述的各该排气安装孔14的底面分别具有至少一个贯穿基体11的下表面116的排气通道17。
[0041]且基体11的各该充气安装孔13与各该排气安装孔14的周缘表面于充气阀件20与排气阀件30的范围内形成有一道环状槽18，且环状槽18内埋设有一供充气阀件20或排气阀件30压掣变形的密封件19，使充气阀件20及排气阀件30与充气座结构10的基体11间形成更佳的气密作用。
[0042]简言之，组构成一具共享性、且结构简单的充气座结构。
[0043]而本实用新型于实际应用时，则如图1及图4所示，本实用新型的充气座结构10可被应用于制作设备旁的进出料工作站、运输设备或充气柜等，其中该充气柜的柜体60由系列立设的架杆61及环绕于周围的侧板65所构成，而各该充气座结构10的基体11以矩阵方式分层分列设于相邻的架杆61间，且其中一侧板65上具有可选择性启闭的门板66，供利用各该充气座结构10对个别的光罩传送盒50进行充气。
[0044]经由前述技术手段的实现，如图1、图2所示，本实用新型的充气座结构10可被分别被应用在手动收纳或机械手臂收纳的充气柜，例如令充气座结构10的管路接头155锁接于基体11中主流通道15邻近前端缘111的第一锁接部151，而止付螺栓156则对应锁掣于主流通道15邻近后端缘112的第二锁接部152，如此气源可由前方进入基体11主流通道15的第一锁接部151端进入，并经主流通道15及分流通道16注入位于基体11前方的各该充气阀件20 (如图1所示)。[0045]反之，当充气座结构10有转向需求时，则如图2、图3所示，将原本锁设于基体11的主流通道15两端的第一锁接部151、第二锁接部152的管路接头155及止付螺栓156分别拆下，且令充气座结构10的基体11水平旋转180度，使基体11上的主流通道15的第一锁接部151与第二锁接部152转换位置，接着将管路接头155锁接于主流通道15位于前方的第二锁接部152，而止付螺栓156则锁掣于主流通道15位于后方的第一锁接部151，且将读取元件40重新锁设于基体11的另一侧边缘，如此气源可由前方进入基体11的主流通道15的第二锁接部152端进入，并经主流通道15及分流通道16注入位于基体11后方的各该充气阀件20 (如图3所示)；亦即，基体11的主流通道15得视需要选择性锁设于基体11的二相对端缘面。
[0046]经由前述技术手段的实现，本实用新型的充气座结构10可分别被应用手动收纳或机械手臂收纳，而仅需将充气座结构10的基体11水平转动180度，并令管路接头155锁接于主流通道15的第一锁接部151或第二锁接部152，而止付螺栓156则对应锁掣于主流通道15的第二锁接部152或第一锁接部151，如此即可令基体11上的各该充气阀件20变换位置，以适用不同的收纳方式，使本实用新型充气座结构10的基体11具有共享性，而无需另外分类制造。
[0047]且由于本实用新型光罩传送盒的充气座结构10的主流通道15与分流通道16形成于基体11的内部，其可避免发生如已知因管路外露而造成破裂漏气的现象，也不会造成机械手臂进出抓取光罩传送盒50的不便，确保工作进行的顺畅与效率，再加上相邻充气座10的基体11间无零件或管路等设置，如此可有效节省空间，大幅增加同一充气柜柜体60的存放量，同时本实用新型的基体11由于零件、尺寸及锁接位置可以一致化，而能节省后制加工时间，且可易于维修及组配，故可有效提升其经济效益。
[0048]以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并非用以限定本实用新型的专利保护范围，其它运用本实用新型专利精神所作的等效变化等，均应同理属于本实用新型的专利保护范围。
【权利要求】
1.一种充气座结构，其承载有一光罩传送盒，且该光罩传送盒的底面分别具有至少两个充气阀及至少两个排气阀，该充气座结构包括: 至少两个充气阀件，其对应与该光罩传送盒的充气阀形成气体连通； 至少两个排气阀件，其对应与该光罩传送盒的排气阀形成气体连通；以及 一基体，其周缘并分别设有一前端缘、一后端缘、一左侧端缘及一右侧端缘，且该基体上、下分别设有一上表面及一下表面，而该基体的上表面分别具有至少两个供各该充气阀件锁掣的充气安装孔，且该基体的上表面分别具有至少两个供各该排气阀件锁掣的排气安装孔；其特征在于: 该基体的内部于前、后端缘的端面间具有一主流通道，且该主流通道于邻近前、后端缘的端面处分别具有一用以选择性锁设一管路接头或一止付螺栓的一第一锁接部及一第二锁接部，而该基体的各该充气安装孔与主流通道间具有一相互连通的分流通道，该分流通道于开口端具有一用以选择性锁设一止付螺栓的锁接部，且各该排气安装孔具有至少一个排气通道。
2.如权利要求1所述的充气座结构，其特征在于:该基体的上表面的周缘角落分别设有一用以供光罩传送盒定位的L形定位框。
3.如权利要求2所述的充气座结构，其特征在于:该基体于对应前、后端缘的相邻定位框间分别形成有一位于正中央且用以供一机械手臂进出的正缺口。
4.如权利要求2所述的充气座结构，其特征在于:该基体于对应左、右侧端缘的相邻定位框间分别形成有一偏位缺口，各该偏位缺口位于左、右侧端缘的对应斜角处，并组装有一用以射频识别的读取元件。
5.如权利要求1所述的充气座结构，其特征在于:该主流通道位于该基体两侧间的中央位置。
6.如权利要求1所述的充气座结构，其特征在于:该基体的排气通道形成于各该排气安装孔的底面且贯穿该基体的下表面。
7.如权利要求1所述的充气座结构，其特征在于:该基体的各该充气安装孔与各该排气安装孔的周缘表面于该充气阀件与该排气阀件内形成有一道环状槽，且该环状槽内埋设有一能压掣变形的密封件。
8.一种充气柜，其特征在于:包括: 一柜体，其具有至少一个架杆，且该架杆的外部周围覆设有一侧板；以及 至少一个如权利要求1所述的充气座结构，其固设于该柜体的架杆中。
9.一种充气座结构，其承载有一光罩传送盒，且该光罩传送盒的底面分别具有至少一个充气阀及至少一个排气阀，该充气座结构包括: 至少一个充气阀件，其对应与该光罩传送盒的至少一个充气阀形成气体连通； 至少一个排气阀件，其对应与该光罩传送盒的至少一个排气阀形成气体连通；以及 一基体，其具有相对供至少一个充气阀件锁掣的至少一个充气安装孔，及相对供至少一个排气阀件锁掣的至少一个排气安装孔；其特征在于: 该基体更具有一主流通道，其设置于该基体的内部并能锁设于该基体的二相对端缘面。
【文档编号】H01L21/673GK203588981SQ201320631732
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2013年10月14日 优先权日:2013年10月14日
【发明者】陈明生, 刘宏伟, 郑友玄 申请人:陈明生, 刘宏伟, 郑友玄