光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，所述工艺步骤为：步骤一、将装有硅片的两个花篮并排放置，且两个花篮一正一反放置；步骤二、将一个花篮中的硅片水平推进进入另一个花篮中，从而使得第二个花篮中的每一个槽内均具有背靠背设置的两片硅片；步骤三、将第二个花篮中的硅片推导进入石英舟内。本发明一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，效率高且碎片率低。
【专利说明】光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种石英舟上硅片的装载工艺，尤其是涉及一种在光伏扩散工序中对石墨舟进行硅片装载的工艺，属于太阳能光伏【技术领域】。
【背景技术】
[0002]太阳能电池板生产工艺中的扩散是指:一种在硅片两面通过化学反应制备PN结的工艺，是光伏电池生产过程中最重要的工序之一；石英舟是扩散工序所使用的治具，一般是分成100个槽，但是由于对应的花篮由两组50个槽的模块构成，因此需要重复操作两次才能进行装卸片，在石英舟的每个槽内背对背放置2片硅片，即一个石英舟一次共可以扩散200片硅片；在扩散工序进行前，需要将200片硅片装载进入石英舟内；
目前，石英舟装卸片有两种方式:人工和机器；
一、依靠人工操，此方式劳动强度大，效率低，碎片率高；
二、依靠机械，行业内目前使用的一种石英舟自动化装卸片的设备，都是采取伺服和吸盘实现装卸片(如中国专利201310506596公布的“扩散石英舟的新型插片装置”)，每次操作装卸一个石英舟，但是由于其采用的花篮的两组模块之间有一定的间隔(该间隔大于花篮节距，因此无法整体操作，需要分成两次进行作业)，两次操作才能完成一次装卸片200片，最快速度每小时可以同时装片或者卸片7600片；并且目前设备不仅速度慢，并且机器制造的成本高，故障率高，定位和碎片问题都不理想。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于克服上述不足，提供一种效率高且碎片率低的光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺。
[0004]本发明的目的是这样实现的:
一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，所述工艺步骤为:
步骤一、将装有硅片的两个花篮并排放置，且两个花篮一正一反放置；
步骤二、将一个花篮中的硅片水平推进进入另一个花篮中，从而使得第二个花篮中的每一个槽内均具有背靠背设置的两片硅片；
步骤三、将第二个花篮中的硅片推导进入石英舟内。
[0005]本发明一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，上述步骤一和步骤二依靠装片机实现，该装片机包含有装片机架，所述装片机架的工作台面上安装有花篮固定架，所述花篮固定架内并排放置有两个花篮，且所述装片机架的工作台面上通过直线导轨滑动设置有装片推进架，该装片推进架位于上述花篮固定架旁，且装片推进架靠近花篮固定架的一侧竖向设置有导条。
[0006]本发明一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，上述步骤三依靠导片机实现，该导片机包含有导片机架，所述导片机架的工作台面斜向设置，所述导片机架的工作台面上并排设置有导片花篮固定架和石英舟固定座，所述导片花篮固定架旁设置有利用直线导轨滑动设置于导片机架工作台面上的移动条，所述移动条朝向导片花篮固定架的一面设置有推动条，所述石英舟固定座旁设置有利用直线导轨滑动设置于导片机架工作台面上的移动引导条，所述移动引导条朝向石英舟固定座的一面设置有引导梳齿。
[0007]本发明一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，上述步骤三依靠石英舟装载机实现，所述石英舟装载机包含有机架，所述机架的工作台面上并排设置有定位座一和定位座二，所述定位座一旁设置有推杆，所述定位座二旁设置有导向机构，所述导向机构包含有一位于定位座二底部的下导向梳齿板，以及位于定位座二上方的上导向梳齿板，所述上导向梳齿板的下表面和下导向梳齿板的上表面均设置有供娃片插入的齿槽；
本发明一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，所述上导向梳齿板连接与一横杆上，该横杆通过一竖向设置的直线导轨滑接于机架上，且横杆位于一竖向安装的搁置架的顶部凹槽内。
[0008]与现有技术相比，本发明的有益效果是:
本发明工艺简单，有效的降低了整个工艺的流程的复杂性，能够有效降低硅片在工艺中的破片率，且实现工艺的装置结构简单，制造成本低廉，操作方便，能够一次性对100+100片硅片转移至石英舟内，从而极大的提高了生产效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本发明一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺中所用的装片机的结构示意图。
[0010]图2为本发明一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺中所用的导片机的结构示意图。
[0011]图3为本发明一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺中所用的石英舟装载机的结构示意图(石英舟处于装片状态)。
[0012]图4为本发明一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺中所用的石英舟装载机的结构示意图(石英舟处于卸片状态)。
[0013]其中:
装片机1、导片机2、石英舟装载机3 ；
装片机架1.1、花篮固定架1.2、花篮1.3、装片推进架1.4、导条1.5 ；
导片机架2.1、导片花篮固定架2.2、移动条2.3、推动条2.4、移动引导条2.5、引导梳齿
2.6、石英舟固定座2.7 ;
机架3.1、定位座一 3.2、定位座二 3.3、推杆3.4、导向机构3.5 ；
横杆3.5.1、上导向梳齿板3.5.2、下导向梳齿板3.5.3、搁置架3.5.4。
【具体实施方式】
[0014]参见图1，本发明涉及的一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，所述工艺步骤为:
步骤一、将装有硅片的两个花篮并排放置，且两个花篮一正一反放置；
步骤二、将一个花篮中的硅片水平推进进入另一个花篮中，从而使得第二个花篮中的每一个槽内均具有背靠背设置的两片硅片； 步骤三、将第二个花篮中的硅片推导进入石英舟内；
上述步骤一和步骤二依靠装片机I实现，该装片机I包含有装片机架1.1，所述装片机架1.1的工作台面上安装有花篮固定架1.2，所述花篮固定架1.2内并排放置有两个花篮
1.3，且所述装片机架1.1的工作台面上通过直线导轨滑动设置有装片推进架1.4，该装片推进架1.4位于上述花篮固定架1.2旁，且装片推进架1.4靠近花篮固定架1.2的一侧竖向设置有导条1.5 ；
使用时，通过装片推进架1.4推动导条1.5移动，从而利用导条1.5将一个花篮1.3内的硅片进入另一花篮内，上述花篮1.3具有100个槽，且100个槽均匀布置；
上述步骤三依靠导片机2实现，该导片机2包含有导片机架2.1，所述导片机架2.1的工作台面斜向设置，所述导片机架2.1的工作台面上并排设置有导片花篮固定架2.2和石英舟固定座2.7，所述导片花篮固定架2.2旁设置有利用直线导轨滑动设置于导片机架2.1工作台面上的移动条2.3，所述移动条2.3朝向导片花篮固定架2.2的一面设置有推动条
2.4，所述石英舟固定座2.7旁设置有利用直线导轨滑动设置于导片机架2.1工作台面上的移动引导条2.5,所述移动引导条2.5朝向石英舟固定座2.7的一面设置有引导梳齿2.6 ；
上述步骤三还可依靠石英舟装载机3实现，所述石英舟装载机3包含有机架3.1，所述机架3.1的工作台面上并排设置有定位座一 3.2和定位座二 3.3，所述定位座一 3.2旁设置有推杆3.4，所述定位座二 3.3旁设置有导向机构3.5，所述导向机构3.5包含有一位于定位座二 3.3底部的下导向梳齿板3.5.3，以及位于定位座二 3.3上方的上导向梳齿板
3.5.2,所述上导向梳齿板3.5.2的下表面和下导向梳齿板3.5.3的上表面均设置有供娃片插入的齿槽；所述上导向梳齿板3.5.2连接与一横杆3.5.1上,该横杆3.5.1通过一竖向设置的直线导轨滑接于机架3.1上，且横杆3.5.1位于一竖向安装的搁置架3.5.4的顶部凹槽内；
参见图3，上述石英舟装载机3进行装片时，上导向梳齿板3.5.2和下导向梳齿板
3.5.3均设置有两块，定位座一 3.2上用于安放花篮，定位座二 3.3上用于安放石英舟，横杆3.5.1在竖向设置的直线导轨的导向作用下上升，然后利用推杆3.4将花篮内的硅片在上导向梳齿板3.5.2和下导向梳齿板3.5.3的导向作用下引导进入石英舟内即可；
参见图4，上述石英舟装载机3还可用于卸片，上导向梳齿板3.5.2和下导向梳齿板
3.5.3均设置为单块，此时定位座一 3.2上用于安放石英舟，定位座二 3.3上用于安放花篮，横杆3.5.1在竖向设置的直线导轨的导向作用下上升，然后利用推杆3.4将石英舟内的硅片在上导向梳齿板3.5.2和下导向梳齿板3.5.3的导向作用下引导进入花篮内即可；从而使得利用石英舟装载机3该一种结构即可对石英舟实现装片和卸片作业；
使用时，引导梳齿2.6对硅片起到定位引导作用，推动条2.4推动硅片在引导梳齿2.6的引导作用下进入石英舟的槽内；且导片花篮固定架2.2上的花篮具有100个槽，且100个槽均匀布置，从而使得本专利可以一次进行转移；
另外:需要注意的是，上述【具体实施方式】仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，其特征在于:所述工艺步骤为: 步骤一、将装有硅片的两个花篮并排放置，且两个花篮一正一反放置； 步骤二、将一个花篮中的硅片水平推进进入另一个花篮中，从而使得第二个花篮中的每一个槽内均具有背靠背设置的两片硅片； 步骤三、将第二个花篮中的硅片推导进入石英舟内。
2.如权利要求1所述一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，其特征在于:上述步骤一和步骤二依靠装片机(I)实现，该装片机(I)包含有装片机架(1.1)，所述装片机架(1.1)的工作台面上安装有花篮固定架(1.2)，所述花篮固定架(1.2)内并排放置有两个花篮(1.3)，且所述装片机架(1.1)的工作台面上通过直线导轨滑动设置有装片推进架(1.4)，该装片推进架(1.4)位于上述花篮固定架(1.2)旁，且装片推进架(1.4)靠近花篮固定架(1.2)的一侧竖向设置有导条(1.5)。
3.如权利要求1或2所述一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，其特征在于:上述步骤三依靠导片机(2)实现，该导片机(2)包含有导片机架(2.1)，所述导片机架(2.1)的工作台面斜向设置，所述导片机架(2.1)的工作台面上并排设置有导片花篮固定架(2.2)和石英舟固定座(2.7)，所述导片花篮固定架(2.2)旁设置有利用直线导轨滑动设置于导片机架(2.1)工作台面上的移动条(2.3)，所述移动条(2.3)朝向导片花篮固定架(2.2)的一面设置有推动条(2.4)，所述石英舟固定座(2.7)旁设置有利用直线导轨滑动设置于导片机架(2.1)工作台面上的移动引导条(2.5)，所述移动引导条(2.5)朝向石英舟固定座(2.7)的一面设置有引导梳齿(2.6)。
4.如权利要求1或2所述一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，其特征在于:上述步骤三依靠石英舟装载机(3)实现，所述石英舟装载机(3)包含有机架(3.1)，所述机架(3.1)的工作台面上并排设置有定位座一(3.2)和定位座二(3.3)，所述定位座一(3.2)旁设置有推杆(3.4)，所述定位座二(3.3)旁设置有导向机构(3.5)，所述导向机构(3.5 )包含有一位于定位座二(3.3)底部的下导向梳齿板(3.5.3),以及位于定位座二(3.3)上方的上导向梳齿板(3.5.2),所述上导向梳齿板(3.5.2)的下表面和下导向梳齿板(3.5.3)的上表面均设置有供硅片插入的齿槽； 如权利要求4所述一种光伏扩散工序中石英舟装载硅片工艺，其特征在于:所述上导向梳齿板(3.5.2)连接与一横杆(3.5.1)上,该横杆(3.5.1)通过一竖向设置的直线导轨滑接于机架(3.1)上，且横杆(3.5.1)位于一竖向安装的搁置架(3.5.4)的顶部凹槽内。
【文档编号】H01L21/677GK104409403SQ201410612182
【公开日】2015年3月11日 申请日期:2014年11月5日 优先权日:2014年11月5日
【发明者】李长英, 陈 光, 高玉良 申请人:江阴方艾机器人有限公司