一种硅片双转轴输送装置的制造方法

文档序号:10804976阅读:293来源:国知局
一种硅片双转轴输送装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种硅片双转轴输送装置,包括均匀排列的上旋转轴和下旋转轴,所述上旋转轴平行排列有一排,所述下旋转轴设置在上旋转轴的正下方且平行排列有一排,所述上旋转轴和下旋转轴的一侧轴端穿接在固定边框Ⅰ,上旋转轴和下旋转轴的另一侧轴端穿接在固定边框Ⅱ,所述上旋转轴和下旋转轴沿轴长度方向同心成对设置若干个凸起轴轮,所述上旋转轴连接固定边框Ⅰ的轴端部设置上驱动齿轮,所述下旋转轴连接固定边框Ⅰ的轴端部设置下驱动齿轮,所述上驱动齿轮与下驱动齿轮相互啮合。本实用新型保证硅片在输送过程中输送平稳,避免出现停止以及偏移现象。
【专利说明】
一种硅片双转轴输送装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及太阳电池片输送装置技术领域,尤其涉及一种硅片双转轴输送装置。
【背景技术】
[0002]太阳电池片是由单晶或多晶硅片经清洗、制绒、扩散、边缘刻蚀、镀减反膜、印刷电极和烧结等多道工序加工制成。以往硅片的输送多是采用输送带或下滚轮输送,但是因为硅片比较薄,采用输送带或下滚轮输送时,遇到到液体或气流等不稳定加工环境时,硅片容易停止移动或偏离原有的前进方向,导致加工装置偏移以及设备空加工,严重的造成卡板或碎片。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足,提供了一种硅片双转轴输送装置,保证硅片在输送过程中输送平稳,避免出现停止以及偏移现象。
[0004]本实用新型通过以下技术方案实现:一种硅片双转轴输送装置,包括均匀排列的上旋转轴和下旋转轴,所述上旋转轴平行排列有一排,所述下旋转轴设置在上旋转轴的正下方且平行排列有一排,所述上旋转轴和下旋转轴的一侧轴端穿接在固定边框I,上旋转轴和下旋转轴的另一侧轴端穿接在固定边框Π,所述上旋转轴和下旋转轴沿轴长度方向同心成对设置若干个凸起轴轮,所述上旋转轴连接固定边框I的轴端部设置上驱动齿轮,所述下旋转轴连接固定边框I的轴端部设置下驱动齿轮,所述上驱动齿轮与下驱动齿轮相互啮合。
[0005]进一步地,所述上旋转轴和下旋转轴的凸起轴轮之间设置用于输送硅片的间隙,所述硅片的上端面与上旋转轴的凸起轴轮接触,硅片的下端面与下旋转轴的凸起轴轮接触。
[0006]进一步地,所述凸起轴轮的表面设置软接触层。
[0007]进一步地,所述下旋转轴连接下驱动齿轮的轴端连接驱动电机。
[0008]进一步地,相邻的上驱动齿轮之间通过上联动齿轮啮合传动连接。
[0009]进一步地,相邻的下驱动齿轮之间通过下联动齿轮啮合传动连接。
[0010]与现有的技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型采用上下同步运动的旋转轴输送硅片,其中在上旋转轴和下旋转轴沿轴长度方向同心成对设置多个凸起轴轮,娃片在上旋转轴和下旋转轴的凸起轴轮之间,凸起轴轮与娃片的上下端面接触并由凸起轴轮带动硅片移动,采用凸起轴轮与硅片的上下端面贴合的方式,实现硅片的平稳输送,避免在输送中出现停止以及偏移现象,其中在凸起轴轮的表面设置软接触层,防止硅片在输送中被压碎,并且在上旋转轴和下旋转轴的轴端部设置相互啮合的上驱动齿轮与下驱动齿轮,并由驱动电机驱动运行,实现上旋转轴和下旋转轴的同步运行,保证硅片的平稳输送。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型硅片双转轴输送装置的主视图;
[0012]图2为本实用新型上下旋转轴的截面图;
[0013]图3为本实用新型上驱动齿轮与下驱动齿轮啮合连接联动齿轮的结构示意图。
[0014]其中:1、上旋转轴;2、下旋转轴;3、凸起轴轮;4、硅片;5、固定边框I;6、固定边框Π ; 7、上驱动齿轮;8、下驱动齿轮;9、驱动电机;10、软接触层;11、下联动齿轮;12、上联动齿轮。
【具体实施方式】
[0015]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
[0016]如图1-3所示,本实用新型涉及一种硅片双转轴输送装置,包括均匀排列的上旋转轴I和下旋转轴2,所述上旋转轴I平行排列有一排,所述下旋转轴2设置在上旋转轴I的正下方且平行排列有一排,所述上旋转轴I和下旋转轴2的一侧轴端穿接在固定边框15,上旋转轴I和下旋转轴2的另一侧轴端穿接在固定边框Π6,所述上旋转轴I和下旋转轴2沿轴长度方向同心成对设置若干个凸起轴轮3,所述上旋转轴I连接固定边框15的轴端部设置上驱动齿轮7,所述下旋转轴2连接固定边框15的轴端部设置下驱动齿轮8,所述上驱动齿轮7与下驱动齿轮8相互啮合,所述上旋转轴I和下旋转轴2的凸起轴轮3之间设置用于输送硅片4的间隙,所述硅片4的上端面与上旋转轴I的凸起轴轮3接触,硅片4的下端面与下旋转轴2的凸起轴轮3接触,所述凸起轴轮3的表面设置软接触层10,所述下旋转轴2连接下驱动齿轮8的轴端连接驱动电机9,相邻的上驱动齿轮7之间通过上联动齿轮12啮合传动连接,相邻的下驱动齿轮8之间通过下联动齿轮11啮合传动连接。
[0017]综上所述,本实用新型采用上下同步运动的旋转轴输送硅片4,其中在上旋转轴I和下旋转轴2沿轴长度方向同心成对设置多个凸起轴轮3,硅片4在上旋转轴I和下旋转轴2的凸起轴轮3之间,凸起轴轮3与硅片4的上下端面接触并由凸起轴轮3带动硅片4移动,采用凸起轴轮3与硅片4的上下端面贴合的方式,实现硅片4的平稳输送,避免在输送中出现停止以及偏移现象,其中在凸起轴轮3的表面设置软接触层10,防止硅片4在输送中被压碎,并且在上旋转轴I和下旋转轴2的轴端部设置相互啮合的上驱动齿轮7与下驱动齿轮8,并由驱动电机9驱动运行,实现上旋转轴I和下旋转轴2的同步运行,保证硅片4的平稳输送。
[0018]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种硅片双转轴输送装置,包括均匀排列的上旋转轴(I)和下旋转轴(2),其特征在于,所述上旋转轴(I)平行排列有一排,所述下旋转轴(2)设置在上旋转轴(I)的正下方且平行排列有一排,所述上旋转轴(I)和下旋转轴(2)的一侧轴端穿接在固定边框I (5),上旋转轴(I)和下旋转轴(2)的另一侧轴端穿接在固定边框Π (6),所述上旋转轴(I)和下旋转轴(2)沿轴长度方向同心成对设置若干个凸起轴轮(3),所述上旋转轴(I)连接固定边框1(5)的轴端部设置上驱动齿轮(7),所述下旋转轴(2)连接固定边框1(5)的轴端部设置下驱动齿轮(8),所述上驱动齿轮(7)与下驱动齿轮(8)相互啮合。2.根据权利要求1所述的一种硅片双转轴输送装置,其特征在于,所述上旋转轴(I)和下旋转轴(2)的凸起轴轮(3)之间设置用于输送硅片(4)的间隙,所述硅片(4)的上端面与上旋转轴(I)的凸起轴轮(3)接触,硅片(4)的下端面与下旋转轴(2)的凸起轴轮(3)接触。3.根据权利要求1所述的一种硅片双转轴输送装置,其特征在于,所述凸起轴轮(3)的表面设置软接触层(10)。4.根据权利要求1所述的一种硅片双转轴输送装置,其特征在于,所述下旋转轴(2)连接下驱动齿轮(8)的轴端连接驱动电机(9)。5.根据权利要求1所述的一种硅片双转轴输送装置,其特征在于,相邻的上驱动齿轮(7)之间通过上联动齿轮(12)啮合传动连接。6.根据权利要求1所述的一种硅片双转轴输送装置,其特征在于,相邻的下驱动齿轮(8)之间通过下联动齿轮(11)啮合传动连接。
【文档编号】H01L21/677GK205488080SQ201620210570
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年3月18日
【发明人】张仲英, 王斌, 孔维兴
【申请人】浙江绿远光伏科技有限公司
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