一种全自动数控硅片输送装置的制造方法

文档序号:10824969阅读:339来源:国知局
一种全自动数控硅片输送装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种全自动数控硅片输送装置,包括输送台、第一传送带、第二传送带和防辐射箱,输送台内部设有防辐射箱,防辐射箱内部设有第二传送带,输送台顶部设有第一传送带、切割箱、PLC电控箱、灭菌箱和检测箱,切割箱内部设有切割机构,外侧设有电动机,灭菌箱内部设有紫外线灯管,切割箱、PLC电控箱、灭菌箱和检测箱底部均设有出口,该装置通过PLC电控箱,能够实现装置的全自动运行,这样就能够在无人的状态下进行输送工作,减少了人工投入以及提高了输送效率,通孔和防辐射箱,能够实现防辐射的同时,可以对硅片输送工作中产生的碎渣进行收集,防止碎渣摩擦硅片,影响硅片的质量。
【专利说明】
一种全自动数控硅片输送装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种输送装置,具体涉及一种全自动数控硅片输送装置。
【背景技术】
[0002]数控是数字控制的简称,数控技术是利用数字化信息对机械运动及加工过程进行控制的一种方法,早期的数控系统是由硬件电路构成的称为硬件数控(Hard NO,1970年代以后,硬件电路元件逐步由专用的计算机代替而称为计算机数控系统,一般是采用专用计算机并配有接口电路,可实现多台数控设备动作的控制。因此现在的数控一般都是CNC(计算机数控),很少再用NC这个概念了。
[0003]数控技术是用数字信息对机械运动和工作过程进行控制的技术,数控装备是以数控技术为代表的新技术对传统制造产业和新兴制造业的渗透形成的机电一体化产品,即所谓的数字化装备,如数控机床等。其技术涉及多个领域:(I)机械制造技术;(2)信息处理、加工、传输技术;(3)自动控制技术;(4)伺服驱动技术;(5)传感器技术;(6)软件技术等。数控技术及装备是发展新兴高新技术产业和尖端工业的使能技术和最基本的装备。世界各国信息产业、生物产业、航空、航天等国防工业广泛采用数控技术,以提高制造能力和水平,提高对市场的适应能力和竞争能力。工业发达国家还将数控技术及数控装备列为国家的战略物资,不仅大力发展自己的数控技术及其产业,而且在〃高精尖〃数控关键技术和装备方面对我国实行封锁和限制政策。因此大力发展以数控技术为核心的先进制造技术已成为世界各发达国家加速经济发展、提高综合国力和国家地位的重要途径。
[0004]产品或工件的输送,我们通常是用传送带或电机带动,从而实现输送,在对硅片的输送中,现有的输送装置效率低下,而且需要投入的操作人员也十分多,这样不仅增加了我们的成本,也增加了劳动力,而且对于硅片输送过程中,产生的碎渣没有清理,使得碎渣摩擦硅片,影响硅片的质量,我们需要一种全自动数控的硅片输送装置,这是我们要解决的问题。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供了一种全自动数控硅片输送装置,可以有效解决【背景技术】中出现的问题。
[0006]为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:
[0007]本实用新型一种全自动数控硅片输送装置,包括输送台、第一传送带、第二传送带和防辐射箱,所述输送台内部设有所述防辐射箱,所述防辐射箱内部设有所述第二传送带,所述输送台顶部设有所述第一传送带、切割箱、PLC电控箱、灭菌箱和检测箱,所述切割箱内部设有切割机构,外侧设有电动机,所述灭菌箱内部设有紫外线灯管,所述切割箱、所述PLC电控箱、所述灭菌箱和所述检测箱底部均设有出口,所述灭菌箱和所述检测箱的所述出口内壁两侧均设有限位器。
[0008]作为本实用新型优选的一种技术方案,所述PLC电控箱外侧设有电控开关和三个指示灯。
[0009]作为本实用新型优选的一种技术方案,所述切割箱、所述灭菌箱和所述检测箱均与所述PLC电控箱电性连接。
[0010]作为本实用新型优选的一种技术方案,所述第一传送带表面设有通孔,内部设有弹簧,且所述通孔和所述防辐射箱连通。
[0011]作为本实用新型优选的一种技术方案,所述切割箱、所述灭菌箱、所述检测箱和所述PLC电控箱均与所述第一传送带螺栓连接。
[0012]本实用新型的有益效果是:该种全自动数控硅片输送装置,通过PLC电控箱,能够实现装置的全自动运行,这样就能够在无人的状态下进行输送工作,减少了人工投入以及提高了输送效率,通过通孔和防辐射箱,能够实现防辐射的同时,也可以对硅片输送工作中产生的碎渣进行收集,防止碎渣摩擦硅片,影响硅片成品的质量。
【附图说明】
[0013]附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
[0014]图1是本实用新型实施例所述的一种全自动数控硅片输送装置结构示意图;
[0015]图中:1、输送台;2、第一传送带;3、第二传送带;4、切割箱;5、PLC电控箱;6、灭菌箱;7、紫外线灯管;8、检测箱;9、出口; 10、限位器;11、切割机构;12、电动机;13、通孔;14、防辐射箱;15、电控开关;16、指示灯;17、弹簧。
【具体实施方式】
[0016]以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
[0017]实施例:
[0018]如图1所示,本实用新型一种全自动数控硅片输送装置,包括输送台1、第一传送带
2、第二传送带3和防辐射箱14,输送台I内部设有防辐射箱14,防辐射箱14内部设有第二传送带3,输送台I顶部设有第一传送带2、切割箱4、PLC电控箱5、灭菌箱6和检测箱8,切割箱4内部设有切割机构11,外侧设有电动机12,灭菌箱6内部设有紫外线灯管7,切割箱4、PLC电控箱5、灭菌箱6和检测箱8底部均设有出口 9,灭菌箱6和检测箱8的出口 9内壁两侧均设有限位器10,通过PLC电控箱5,能够实现装置的全自动运行,这样就能够在无人的状态下进行输送工作,减少了人工投入以及提高了输送效率,通过通孔13和防辐射箱14,能够实现防辐射的同时,也可以对硅片输送工作中产生的碎渣进行收集,防止碎渣摩擦硅片,影响硅片成品的质量。
[0019]PLC电控箱5外侧设有电控开关15和三个指示灯16,能够控制PLC电控箱5的打开和关闭以及通过三个指示灯16,反应输送装置的工作进程。
[0020]切割箱4、灭菌箱6和检测箱8均PLC电控箱(5电性连接,能够实现装置的全自动运行没减少了人工投入以及提高了输送效率。
[0021]第一传送带2表面设有通孔13,内部设有弹簧17,且通孔13和防辐射箱14连通,在实现防辐射的同时,也可以对硅片输送工作中产生的碎渣进行收集,防止碎渣摩擦硅片,影响硅片成品的质量。
[0022]切割箱4、灭菌箱6、检测箱8和PLC电控箱5均与第一传送带2螺栓连接,保证装置的稳定性。
[0023]具体的,使用时,我们打开电控开关15,并调试好PLC电控箱5,成品的硅片通过切割机构11,被切割成多个部分,然后通过第一传送带2分别通过PLC电控箱5、灭菌箱6和检测箱8,完成灭菌和检测质量的过程,这样,大大提高了输送的效率,也节省了人工劳动力的投入,降低了成本,在硅片输送的过程中,由于会因为摩擦而产生碎渣,我们通过通孔13,能够将碎渣进入防辐射箱内,再通过第二传送带3,将碎渣送出。
[0024]该种全自动数控硅片输送装置,通过PLC电控箱5,能够实现装置的全自动运行,这样就能够在无人的状态下进行输送工作,减少了人工投入以及提高了输送效率,通过通孔13和防辐射箱14,能够实现防辐射的同时,也可以对硅片输送工作中产生的碎渣进行收集,防止碎渣摩擦硅片,影响硅片成品的质量。
[0025]最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种全自动数控硅片输送装置,包括输送台(1)、第一传送带(2)、第二传送带(3)和防辐射箱(14),其特征在于,所述输送台(I)内部设有所述防辐射箱(14),所述防辐射箱(14)内部设有所述第二传送带(3),所述输送台(I)顶部设有所述第一传送带(2)、切割箱(4)、PLC电控箱(5)、灭菌箱(6)和检测箱(8),所述切割箱(4)内部设有切割机构(11),外侧设有电动机(12),所述灭菌箱(6)内部设有紫外线灯管(7),所述切割箱(4)、所述PLC电控箱(5)、所述灭菌箱(6)和所述检测箱(8)底部均设有出口(9),所述灭菌箱(6)和所述检测箱(8)的所述出口(9)内壁两侧均设有限位器(10)。2.根据权利要求1所述的一种全自动数控硅片输送装置,其特征在于,所述PLC电控箱(5)外侧设有电控开关(15)和三个指示灯(16)。3.根据权利要求1所述的一种全自动数控硅片输送装置,其特征在于,所述切割箱(4)、所述灭菌箱(6)和所述检测箱(8)均与所述PLC电控箱(5)电性连接。4.根据权利要求1所述的一种全自动数控硅片输送装置,其特征在于,所述第一传送带(2)表面设有通孔(13),内部设有弹簧(17),且所述通孔(13)和所述防辐射箱(14)连通。5.根据权利要求1所述的一种全自动数控硅片输送装置,其特征在于,所述切割箱(4)、所述灭菌箱(6)、所述检测箱(8)和所述PLC电控箱(5)均与所述第一传送带(2)螺栓连接。
【文档编号】H01L21/677GK205508795SQ201620277133
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年4月6日
【发明人】林助水
【申请人】林助水
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