多磁控管装置的制作方法

文档序号:13218587阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种用于加工工件,优选大基底的表面的方法以及一种用于实施该方法的设备。提出的是,加工设备布置在真空室中的筒式承载件的周侧面上。工件在筒上方运输并且可选地进行旋转。筒式承载件被转动,从而使所想要的加工设备面向工件并且可以对该工件进行加工。通过平移和旋转工件可以选出要加工的表面区段。

技术研发人员:约阿希姆·迈;迪尔克·罗斯特;赖纳·鲍姆格特纳;
受保护的技术使用者:梅耶博格(德国)股份有限公司;
文档号码:201480065908
技术研发日:2014.10.23
技术公布日:2016.07.20

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