一种石墨烯槽波导光探测器的制作方法与工艺

文档序号:11935552阅读:来源:国知局
技术总结
提供了一种石墨烯槽波导光探测器,该石墨烯槽波导光探测器相比于普通的石墨烯波导光探测器具有较高的探测响应度和光电转换效率。该石墨烯槽波导光探测器包括:下套层(10);间隔设置于下套层(10)上的至少两个芯层(11),至少两个芯层(11)中的至少一个芯层(11)与下套层(10)接触;设置于下套层(10)上、各相邻芯层(11)之间的槽层(12),槽层(12)的数量大于等于1,槽层(12)的折射率均小于与该槽层(12)相邻的两个芯层(11)的折射率;石墨烯层(13)以及两个金属电极(14),石墨烯层(13)与槽层(12)中的至少一个槽层(12)接触或者石墨烯层(13)设置在槽层(12)中的至少一个槽层(12)中,石墨烯层(13)与两个金属电极(14)中的至少一个金属电极(14)接触。

技术研发人员:王志仁;刘磊;邓舒鹏
受保护的技术使用者:华为技术有限公司
文档号码:201480081823
技术研发日:2014.12.31
技术公布日:2017.05.17

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