1.一种稀释液制造方法,通过对第一液体添加第二液体来制造该第二液体的稀释液,该稀释液制造方法包括以下步骤:
使所述第一液体在第一配管中流动;以及
对用于贮存所述第二液体的罐体内的压力进行控制,通过用于将所述罐体与所述第一配管连接的第二配管来将所述第二液体添加到在所述第一配管内流动的所述第一液体,
其中,在添加所述第二液体的步骤中包括以下步骤:
测定在所述第一配管内流动的所述第一液体的流量或所述稀释液的流量;
测定所述稀释液的成分浓度;以及
基于所述流量的测定值和所述成分浓度的测定值,来控制所述罐体内的压力,使得所述稀释液的成分浓度为规定值。
2.根据权利要求1所述的稀释液制造方法,其特征在于,
在添加所述第二液体的步骤中,还包括以下步骤:使所述第二液体在所述第二配管中以层流状态流动。
3.根据权利要求1或2所述的稀释液制造方法,其特征在于,
在添加所述第二液体的步骤中,还包括以下步骤:使所述第二液体在所述第二配管中流动,所述第二配管的内径在超过0.1mm且4mm以下的范围内。
4.根据权利要求1~3中的任一项所述的稀释液制造方法,其特征在于,
在添加所述第二液体的步骤中,还包括以下步骤:测定所述第一配管与所述第二配管之间的连结部处的管内的压力,
在控制所述罐体内的压力的步骤中,包括以下步骤:基于所述流量的测定值、所述成分浓度的测定值以及所述压力的测定值,来控制所述罐体内的压力,使得所述稀释液的成分浓度为规定值。
5.根据权利要求1~3中的任一项所述的稀释液制造方法,其特征在于,
在添加所述第二液体的步骤中,还包括以下步骤:测定所述第一配管与所述第二配管之间的连结部处的管内的压力;以及基于所述压力的测定值来将所述连结部处的管内的压力调整为规定值,
在控制所述罐体内的压力的步骤中,包括以下步骤:基于所述流量的测定值和所述成分浓度的测定值,或者基于所述流量的测定值、所述成分浓度的测定值以及所述压力的测定值,来控制所述罐体内的压力,使得所述稀释液的成分浓度为规定值。
6.根据权利要求1~5中的任一项所述的稀释液制造方法,其特征在于,
所述第一液体是超纯水,所述第二液体是将电解质溶解得到的水溶液。
7.根据权利要求1~5中的任一项所述的稀释液制造方法,其特征在于,
所述第一液体是超纯水,所述第二液体是氨水溶液。
8.一种稀释液制造装置,通过对第一液体添加第二液体来制造该第二液体的稀释液,该稀释液制造装置具有:
第一配管,其用于供给所述第一液体;
罐体,其用于贮存所述第二液体;
第二配管,其用于将所述第二液体从所述罐体供给到所述第一配管内;
流量计,其测定在所述第一配管内流动的所述第一液体的流量或所述稀释液的流量;
测定器,其测定所述稀释液的成分浓度;以及
控制部,其基于所述流量计的测定值和所述测定器的测定值,来控制所述罐体内的压力,使得所述稀释液的成分浓度为规定值。
9.根据权利要求8所述的稀释液制造装置,其特征在于,
使所述第二液体在所述第二配管内以层流状态流动。
10.根据权利要求8或9所述的稀释液制造装置,其特征在于,
所述第二配管的内径在超过0.1mm且4mm以下的范围内。
11.根据权利要求8~10中的任一项所述的稀释液制造装置,其特征在于,
所述第一配管将超纯水作为所述第一液体来进行供给,所述第二配管将使电解质溶解得到的水溶液作为所述第二液体来进行供给,所述测定器测定电导率来作为所述稀释液的成分浓度。
12.根据权利要求8~10中的任一项所述的稀释液制造装置,其特征在于,
所述第一配管将超纯水作为所述第一液体来进行供给,所述第二配管将氨水溶液作为所述第二液体来进行供给,所述测定器测定电导率来作为所述稀释液的成分浓度。
13.根据权利要求8~12中的任一项所述的稀释液制造装置,其特征在于,
还具有压力计,该压力计测定所述第一配管与所述第二配管之间的连结部处的管内的压力,
所述控制部基于所述流量计的测定值、所述测定器的测定值以及所述压力计的测定值,来控制所述罐体内的压力,使得所述稀释液的成分浓度为规定值。
14.根据权利要求8~12中的任一项所述的稀释液制造装置,其特征在于,还具有:
压力计,其测定所述第一配管与所述第二配管之间的连结部处的管内的压力;以及
连结部压力调整器,其基于所述压力计的测定值来将所述连结部处的管内的压力调整为规定值,
所述控制部基于所述流量计的测定值和所述测定器的测定值,或者基于所述流量计的测定值、所述测定器的测定值以及所述压力计的测定值,来控制所述罐体内的压力,使得所述稀释液的成分浓度为规定值。