技术总结
本发明的实施例提供了一种用于在半导体制造中控制等离子体的等离子体处理系统和方法。该系统包括被配置为生成等离子体的远程等离子体模块。该系统还包括被配置为接收等离子体的化合物混合室。该系统还包括被配置为接收来自化合物混合室的用于处理的等离子体的处理室。另外，该系统包括被配置为监控化合物混合室中的等离子体的检测模块。
技术研发人员：吴成宗;吕伯雄;刘定一;廖锡文;孔祥昇
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
文档号码：201610107736
技术研发日：2016.02.26
技术公布日：2016.11.30