TFT基板的制作方法及制得的TFT基板与流程

文档序号:16786881发布日期:2019-02-01 19:26阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种TFT基板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1、提供一基板(10),在所述基板(10)上形成有源层(20),对所述有源层(20)进行离子注入,并在所述有源层(20)上定义出沟道区(21);

步骤2、在所述有源层(20)、及基板(10)上依次沉积绝缘层(32)与第一金属层(31),采用一道光罩对所述第一金属层(31)和绝缘层(32)进行图形化处理,得到与所述有源层(20)的沟道区(21)的宽度相等并且在宽度方向上两端对齐的第一栅极(40)与栅极绝缘层(30);

以所述第一栅极(40)和栅极绝缘层(30)为阻挡层,对所述有源层(20)进行离子注入,得到分别位于沟道区(21)两侧的第一离子重掺杂区(22)与第二离子重掺杂区(23);

步骤3、在所述第一栅极(40)、有源层(20)、及基板(10)上沉积第二金属层(41),采用一道光罩对所述第一金属层(41)进行图形化处理,得到位于所述有源层(20)的两侧且分别与所述有源层(20)的第一离子重掺杂区(22)与第二离子重掺杂区(23)相接触的源极(51)与漏极(52);

将所述第一离子重掺杂区(22)上与源极(51)相接触的部分定义为源极接触区(24);将所述第二离子重掺杂区(23)上与漏极(52)相接触的部分定义为漏极接触区(25);

以所述源极(51)、漏极(52)、及第一栅极(40)为阻挡层,对所述第一离子重掺杂区(22)上位于所述源极(51)与第一栅极(40)之间的部分、以及所述第二离子重掺杂区(23)上位于第一栅极(40)与漏极(52)之间的部分进行蚀刻,去除上层离子浓度较高的部分,保留下层离子浓度较低的部分,从而得到位于所述源极接触区(24)与沟道区(21)之间的第一轻掺杂补偿区(26)、以及位于所述沟道区(21)与漏极接触区(25)之间的第二轻掺杂补偿区(27);

步骤4、在所述源极(51)、漏极(52)、有源层(20)、及第一栅极(40)上沉积钝化保护层(60),采用一道光罩对所述钝化保护层(60)进行图形化处理,对应于所述源极(51)、漏极(52)、及第一栅极(40)的上方分别形成第一通孔(61)、第二通孔(62)、及第三通孔(63);

步骤5、在所述钝化保护层(60)上沉积导电层(90),采用一道光罩对所述导电层(90)进行图形化处理,得到第一接触电极(71)、第二接触电极(72)、及第二栅极(80),所述第一、第二接触电极(71、72)分别经由第一、第二通孔(61、62)与源极(51)、漏极(52)相连,所述第二栅极(80)经由第三通孔(63)与第一栅极(40)相连;

所述第二栅极(80)的宽度大于所述第一栅极(40)的宽度,且所述第二栅极(80)的两侧分别覆盖位于所述第一栅极(40)两侧的第一轻掺杂补偿区(26)与第二轻掺杂补偿区(27)。

2.如权利要求1所述的TFT基板的制作方法,其特征在于,所述步骤1中,在所述基板(10)上形成有源层(20)的具体实施方式为:在基板(10)上沉积非晶硅薄膜,采用固相结晶方法将所述非晶硅薄膜转化为低温多晶硅薄膜后,采用一道光罩对所述低温多晶硅薄膜进行图形化处理,得到有源层(20)。

3.如权利要求1所述的TFT基板的制作方法,其特征在于,所述沟道区(21)为N型离子轻掺杂区,所述源极接触区(24)、漏极接触区(25)为P型离子重掺杂区,所述第一轻掺杂补偿区(26)、第二轻掺杂补偿区(27)为P型离子轻掺杂区;或者,所述沟道区(21)为P型离子轻掺杂区,所述源极接触区(24)、漏极接触区(25)为N型离子重掺杂区,所述第一轻掺杂补偿区(26)、第二轻掺杂补偿区(27)为N型离子轻掺杂区。

4.如权利要求1所述的TFT基板的制作方法,其特征在于,所述第二栅极(80)的左侧与源极(51)的右侧之间形成第一重叠区(810),所述第二栅极(80)的右侧与漏极(52)的左侧之间形成第二重叠区(820)。

5.如权利要求1所述的TFT基板的制作方法,其特征在于,所述第一、第二接触电极(71、72)、及第二栅极(80)的材料均为透明导电金属氧化物。

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