脉冲碘激光设备的制作方法

文档序号:12475442阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种脉冲碘激光设备,包括:

闪光灯泵浦碘激光振荡器,产生具有1微秒或更大的全脉冲宽度的激光脉冲;以及

碘激光放大器,采用单线态氧发生器,并放大所述激光脉冲。

2.根据权利要求1所述的脉冲碘激光设备,其中所述碘激光放大器具有包含氯气的气罐、包含碘分子的气罐以及控制所述氯气注入到所述单线态氧发生器中的时刻以及所述碘分子注入到所述碘激光放大器的腔室中的时刻的控制器。

3.根据权利要求2所述的脉冲碘激光设备,其中所述碘分子注入到所述腔室中的所述时刻滞后于所述氯气注入到所述单线态氧发生器中的所述时刻。

4.根据权利要求2所述的脉冲碘激光设备,其中基于来自充满所述碘激光放大器的所述腔室的单线态氧的自发发射的强度来控制所述碘分子注入到所述腔室中的所述时刻。

5.根据权利要求2所述的脉冲碘激光设备,其中基于充满所述腔室的氧的压力来控制所述碘分子注入到所述腔室中的所述时刻。

6.根据权利要求1所述的脉冲碘激光设备,其中所述碘激光放大器中的所述激光脉冲的横截面随着在所述腔室中的传播距离的增大而增大。

7.一种脉冲碘激光设备,包括:

碘激光振荡器,具有单线态氧发生器;

碘激光放大器,具有单线态氧发生器并放大来自所述碘激光振荡器的脉冲激光;以及

控制器,控制碘分子注入到所述碘激光振荡器的腔室中的时刻和所述碘分子注入到所述碘激光放大器的腔室中的时刻。

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