磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料的制备方法与流程

文档序号:12611951阅读:来源:国知局

技术特征:

1.磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料,其特征在于,对钼基体中掺杂稀土La2O3活性物质,其中稀土活性物质La2O3占阴极材料总重量的2-5wt%,其余为钼。

2.按照权利要求1所述的磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料,其特征在于,La2O3占阴极材料总重量的3-4.5wt%。

3.按照权利要求1所述的磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料,其特征在于,La2O3占阴极材料总重量的4wt%。

4.制备权利要求1-3任一项所述的磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料的方法,包括以下步骤:

将七钼酸铵溶液、硝酸镧溶液和柠檬酸溶液进行混;其中钼和镧的摩尔比对应阴极材料中钼和镧的摩尔比,七钼酸铵:柠檬酸的质量比为1:(0.8-1.5);水浴加热,机械搅拌,最终形成干凝胶,将干凝胶分解得到稀土氧化物掺杂氧化钼粉末,氧化物混合粉末经还原得到稀土氧化物掺杂钼粉末;稀土氧化物掺杂钼粉经过压型、烧结工艺得到钼棒,钼棒经旋煅、拉拔、退火、清洗、阴极绕制、定型、碳化、排气激活、老化,即得到磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料,其特征在于:碳化采用高温瞬时的碳化工艺,得到高碳化度的阴极丝材,且采用高温长时的排气激活工艺,以及高温老化工艺,具体特征如下:

(1)碳化温度为1600-1900℃;

(2)碳化时间为80-150s;

(3)碳化度为10-50%;

(4)最高排气激活温度为1600-1900℃;

(5)最高排气激活温度保温时间为20-40min;

(6)老化温度为1500-1800℃。

5.按照权利要求4的方法,其特征在于,氧化物混合粉末经还原制备稀土氧化物掺杂钼粉末的方法:将分解后的粉末在氢气气氛下进行还原,一次还原温度为540℃-600℃,二次还原温度为850℃-950℃,随炉冷却得到稀土氧化物掺杂钼粉。

6.权利要求1-3任一项所述的磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料的应用,适用于微波炉中使用的磁控管。

7.权利要求1-3任一项所述的磁控管用La2O3掺杂Mo阴极材料的应用,其特征在于,工作温度为1100-1300℃。

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