技术总结
本发明公开了一种微纳机电开关及其制造方法，其中该微纳机电开关包括：半导体衬底；绝缘层，位于所述半导体衬底之上；位于绝缘层之上的浮置的悬梁臂；位于绝缘层之上的一对驱动电极和一对接触电极，其中一对驱动电极位于悬梁臂的两侧并且与悬梁臂之间通过气隙隔离，一对接触电极位于悬梁臂的两侧并且与悬梁臂和驱动电极之间通过气隙隔离。
技术研发人员：粟雅娟;曹合适;贾昆鹏;战俊
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
文档号码：201610809521
技术研发日：2016.09.07
技术公布日：2017.01.04