1.一种半导体激光外腔反馈光谱合束装置,其用于对激光阵列(1)发出的相互平行的多束激光实现光谱合束;其特征在于:所述装置包括转换透镜(2)、衍射光栅(3)、准直镜(4)、全反镜一(5)、全反镜二(6);激光阵列(1)发出的相互平行的多束激光经过转换透镜(2)聚焦在衍射光栅(3)上,衍射光栅(3)将-1级衍射光和0级衍射光按一定比例分配整体光束功率;0级衍射光经准直镜(4)准直后由全反镜一(5)全部反馈至衍射光栅(3)上再次衍射,在其衍射方向上加入全反镜二(6)与全反镜一(5)形成振荡选模结构,输出的光一部分返回激光阵列(1)形成锁模结构,一部分光从输出光路(7)输出。
2.如权利要求1所述的半导体激光外腔反馈光谱合束装置,其特征在于:-1级衍射光和0级衍射光按75︰25的比例分配整体光束功率。
3.如权利要求1所述的半导体激光外腔反馈光谱合束装置,其特征在于:转换透镜(2)、衍射光栅(3)、准直镜(4)、全反镜一(5)具有相同的光轴。
4.如权利要求3所述的半导体激光外腔反馈光谱合束装置,其特征在于:衍射光栅(3)与所述光轴呈45度夹角。
5.一种半导体激光外腔反馈光谱合束方法,其用于对激光阵列(1)发出的相互平行的多束激光实现光谱合束;其特征在于:其包括以下步骤:
所述多束激光经过转换透镜(2)聚焦在衍射光栅(3)上;
衍射光栅(3)将-1级衍射光和0级衍射光按一定比例分配整体光束功率;
0级衍射光经准直镜(4)准直后由全反镜一(5)全部反馈至衍射光栅(3)上再次衍射,在其衍射方向上加入全反镜二(6)与全反镜一(5)形成振荡选模结构,输出的光一部分返回激光阵列(1)形成锁模结构,一部分光从输出光路(7)输出。
6.如权利要求5所述的半导体激光外腔反馈光谱合束方法,其特征在于:-1级衍射光和0级衍射光按75︰25的比例分配整体光束功率。
7.如权利要求5所述的半导体激光外腔反馈光谱合束方法,其特征在于:激光阵列(1)发出的相互平行的多束激光具有不同的波长。
8.如权利要求5所述的半导体激光外腔反馈光谱合束方法,其特征在于:转换透镜(2)、衍射光栅(3)、准直镜(4)、全反镜一(5)具有相同的光轴。
9.如权利要求8所述的半导体激光外腔反馈光谱合束方法,其特征在于:衍射光栅(3)与所述光轴呈45度夹角。