1.一种发光二极管外延层的制备方法,其特征在于,由如下步骤组成:
首先提供一氮化镓衬底;
于所述衬底表面高温、低压及低速生长P型氮化镓层;其生长温度高于或等于1000℃,生长压力小于或等于100 torr,生长速率小于或等于0.6μm/h;
于所述P型氮化镓层表面生长应力释放层;
于所述应力释放层上生长发光层,所述发光层包括量子垒层和量子阱层,所述发光层的量子垒层生长温度小于或等于850℃;
于所述发光层表面低温生长N型氮化镓层,其生长温度与所述量子垒层的生长温度相同,为提高低温生长的N型氮化镓层晶体质量,生长用镓源采用三乙基镓;
所述P型氮化镓层、应力释放层、发光层和N型氮化镓层组成发光二极管外延层。
2.根据权利要求1所述的一种发光二极管外延层的制备方法,其特征在于:于所述P型氮化镓层和应力释放层之间增加高温退火处理步骤,具体为:停止所述P型氮化镓层的生长,将腔室温度稳定于950℃以上,对所述P型氮化镓层进行高温退火处理,活化所述P型氮化镓层中掺杂杂质。
3.根据权利要求1所述的一种发光二极管外延层的制备方法,其特征在于:所述P型氮化镓层的生长温度为1000~1200℃。
4.根据权利要求2所述的一种发光二极管外延层的制备方法,其特征在于:所述P型氮化镓层的退火温度为950~1100℃,退火时间为1~5min。
5.根据权利要求1所述的一种发光二极管外延层的制备方法,其特征在于:所述N型氮化镓层的生长温度为750~850℃。
6.根据权利要求1所述的一种发光二极管外延层的制备方法,其特征在于:所述P型氮化镓层的杂质浓度范围为5×1018cm-3~1×1021cm-3。
7.根据权利要求1所述的一种发光二极管外延层的制备方法,其特征在于:所述P型氮化镓层的厚度小于或等于200埃。
8.根据权利要求1所述的一种发光二极管外延层的制备方法,其特征在于:所述N型氮化镓层的厚度为0.5~1.5μm。
9.根据权利要求1所述的一种发光二极管外延层的制备方法,其特征在于:所述N型氮化镓层的杂质浓度范围为1×1019cm-3~5×1020cm-3。
10.根据权利要求1所述的一种发光二极管外延层的制备方法,其特征在于:所述N型氮化镓层的生长压力为100~200 torr。
11.根据权利要求1所述的一种发光二极管外延层的制备方法,其特征在于:所述发光二极管的外延层厚度为2.5~3μm。
12.一种发光二极管外延层,其通过权利要求1~11任何一项所述的方法制备而成,由一氮化镓衬底及依次位于所述衬底上的P型氮化镓层、应力释放层、发光层和N型氮化镓层组成。