带内置光栅半导体激光器的制作方法

文档序号:12616739阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种内置光栅半导体激光器,包括由下至上依次设置的衬底、下包层、下波导层、有源层、上波导层、上包层和顶层,其中上波导层包括第一上波导层和第二上波导层,第一上波导层为有源层的上一层,第二上波导层为上包层的下一层,且第一上波导层与第二上波导层之间设置有光栅层。本发明通过在第一上波导层与第二上波导层之间设置光栅层,可以大大提高半导体激光器的光谱质量和温度稳定性,并且可以降低激光器的功耗和体积。

技术研发人员:廖柯
受保护的技术使用者:中国电子科技集团公司第四十四研究所
文档号码:201610945233
技术研发日:2016.11.02
技术公布日:2017.01.11

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