1.一种柔性OLED显示面板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、提供一刚性基板(10),在所述刚性基板(10)上形成间隔设置的数圈无机挡墙(20),所述数圈无机挡墙(20)在所述刚性基板(10)上围出数个面板区域(11);
步骤2、在所述刚性基板(10)与数圈无机挡墙(20)上整面涂布有机材料薄膜(30),在数圈无机挡墙(20)的分割作用下,所述有机材料薄膜(30)上位于所述刚性基板(10)的数个面板区域(11)上的部分分别形成数个柔性衬底(31);
步骤3、在所述数个柔性衬底(31)上分别形成数个水氧阻隔层(40),在数个水氧阻隔层(40)上分别从下到上依次制作薄膜晶体管层(50)与OLED器件层(60),对所述薄膜晶体管层(50)与OLED器件层(60)进行封装,形成位于所述OLED器件层(60)与水氧阻隔层(40)上的数个薄膜封装层(70),每个薄膜封装层(70)包覆位于其下方的OLED器件层(60)与薄膜晶体管层(50),从而在刚性基板(10)上形成分别位于数圈无机挡墙(20)内的数个柔性OLED显示面板(80);
步骤4、采用激光剥离技术将所述数个柔性衬底(31)分别从所述刚性基板(10)上剥离,得到数个柔性OLED显示面板(80)。
2.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法,其特征在于,所述刚性基板(10)为玻璃基板。
3.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法,其特征在于,所述数圈无机挡墙(20)的材料包括氧化硅、氮化硅、及氮氧化硅中的至少一种。
4.如权利要求3所述的柔性OLED显示面板的制作方法,其特征在于,所述数圈无机挡墙(20)的材料为氧化硅,所述数圈无机挡墙(20)的制备方法为:提供玻璃胶,所述玻璃胶包括氧化硅与溶剂,采用丝网印刷工艺在所述刚性基板(10)上涂布数圈玻璃胶,加热固化后得到数圈无机挡墙(20)。
5.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法,其特征在于,所述步骤2中,所述有机材料薄膜(30)为聚酰亚胺薄膜。
6.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法,其特征在于,所述柔性衬底(31)的厚度小于所述无机挡墙(20)的高度。
7.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法,其特征在于,所述水氧阻隔层(40)的面积小于或者等于所述柔性衬底(31)的面积,同时大于所述OLED器件层(60)与薄膜晶体管层(50)的面积。
8.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法,其特征在于,所述水氧阻隔层(40)与薄膜封装层(70)分别包括层叠且交替设置的多个无机物层(41)与有机物层(42)。
9.如权利要求8所述的柔性OLED显示面板的制作方法,其特征在于,所述无机物层(41)的材料包括氧化硅、氮化硅、及氮氧化硅中的至少一种;所述有机物层(42)的材料包括丙烯酸脂、六甲基二甲硅醚、聚丙烯酸酯、聚碳酸脂、及聚苯乙烯中的一种或多种。
10.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法,其特征在于,所述柔性OLED显示面板(80)包括柔性衬底(31)、在所述柔性衬底(31)上从下到上依次层叠设置的水氧阻隔层(40)、薄膜晶体管层(50)与OLED器件层(60)、以及设于所述OLED器件层(60)与水氧阻隔层(40)上的薄膜封装层(70),所述薄膜封装层(70)包覆位于其下方的OLED器件层(60)与薄膜晶体管层(50)。