一种真空灭弧室真空度自动检测装置的制作方法

文档序号:11858977阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空灭弧室真空度自动检测装置,其特征在于,包括传送线(1)、机械手(2)、自动化真空度检测平台(3)和控制系统(4),所述传送线(1)、机械手(2)和自动化真空度检测平台(3)均连接控制系统(4),所述控制系统(4)包括自动真空度检测仪和测试系统,所述测试系统包括与真空灭弧室两端电极相连的采样电路(5)以及与该采样电路(5)电连接的高压电源(15),所述自动化真空度检测平台(3)包括与真空灭弧室对应的支架,所述支架滑动连接有与真空灭弧室对应的磁套筒(6),所述磁套筒(6)的上方滑动连接有与真空灭弧室静端对应的下压电极(7),且该磁套筒(6)的下方滑动连接有与真空灭弧室动端对应的夹持装置(8)。

2.根据权利要求1所述的一种真空灭弧室真空度自动检测装置,其特征在于,所述控制系统(4)还包括工控机以及与该工控机相连接的PLC。

3.根据权利要求2所述的一种真空灭弧室真空度自动检测装置,其特征在于,所述下压电极(7)远离所述磁套筒(6)的一端连接有气缸(9),且该气缸(9)固定安装在所述支架上。

4.根据权利要求3所述的一种真空灭弧室真空度自动检测装置,其特征在于,所述夹持装置(8)为气爪。

5.根据权利要求4所述的一种真空灭弧室真空度自动检测装置,其特征在于,所述气爪的下部连接有拉压力传感器(10),所述拉压力传感器(10)固定安装在移动座(11)上,所述移动座(11)活动连接有滚珠丝杆一(12),所述滚珠丝杆一(12)连接有伺服电机一(13)。

6.根据权利要求5所述的一种真空灭弧室真空度自动检测装置,其特征在于,所述传送线(1)上设置有与真空灭弧室对应的转运盘(14)。

7.根据权利要求6所述的一种真空灭弧室真空度自动检测装置,其特征在于,所述控制系统(4)还连接有与所述气爪对应的气泵。

8.根据权利要求7所述的一种真空灭弧室真空度自动检测装置,其特征在于,所述磁套筒(6)的四个角上均滑动连接有导轨(16),且该磁套筒(6)的底面活动连接有滚珠丝杆二(17),所述滚珠丝杆二(17)连接有伺服电机二(18)。

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