一种新型硅外延片构造的肖特基二极管的制作方法

文档序号:11859238阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型硅外延片构造的肖特基二极管,其特征在于,包括背面金属电极(1)、衬底(2)、外延层(3)、氧化层(4)、正面金属电极(5)、势垒金属层(6)、保护环(7)及过渡外延层(8),所述背面金属电极(1)、衬底(2)、过渡外延层(8)及外延层(3)四者由下至上顺次层叠设置,所述过渡外延层(8)的掺杂浓度大于衬底(2)的掺杂浓度且小于外延层(3)的掺杂浓度;所述外延层(3)上端面中央部位向下凹陷形成开口向上的中心槽,所述保护环(7)水平设置于处延层(3)内且环绕中心槽设置,保护环(7)上端面与外延层(3)上端面平齐,且其底部的水平高度低于中心槽底部的水平高度;所述氧化层(4)覆盖于保护环(7)上端面靠近保护环(7)外侧的区域、以及外延层(3)上端面位于保护环(7)外侧的区域,所述势垒金属层(6)覆盖于外延层(3)和保护环(7)两者上端面相对覆盖氧化层(4)区域外的区域,所述正面金属电极(5)覆盖于氧化层(4)和势垒金属层(6)两者的上端面。

2.根据权利要求1所述的一种新型硅外延片构造的肖特基二极管,其特征在于,所述保护环(7)包括内层保护环和外层保护环,所述内层保护环的横截面为半圆形状,外层保护环的横截面为二分之一圆弧状,外层保护环与内层保护环同轴设置且包覆在内层保护环上;所述内层保护环的掺杂浓度大于外层保护环的掺杂浓度。

3.根据权利要求1或2所述的一种新型硅外延片构造的肖特基二极管,其特征在于,所述氧化层(4)覆盖保护环(7)上端面外侧的二分之一环状区域,势垒金属层(6)覆盖保护环(7)上端面内侧的二分之一环状区域。

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