一种12英寸石英舟的制作方法

文档序号:12196612阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种12英寸石英舟,其特征在于,包括:

用于进行放置物位置限制的顶板(1)及底板(2);

若干槽棒(3),将所述顶板(1)与所述底板(2)连接,且设置在所述顶板(1)及所述底板(2)的外围;

所述顶板(1)、所述底板(2)及若干槽棒(3)形成硅片放置区(4);

挡板(5),设置在所述槽棒(3)上,并将所述硅片放置区(4)分为容量不相同的第一空间(41)和第二空间(42)。

2.如权利要求1所述的12英寸石英舟,其特征在于,所述槽棒(3)包括:

用于连接所述顶板(1)及所述底板(2)的棒体,设置在所述顶板(1)与所述底板(2)之间;

用于限定放置物位置的若干放置槽,设置在所述棒体上。

3.如权利要求1所述的12英寸石英舟,其特征在于,所述槽棒(3)为3个,其中2个槽棒(3)相对设置,另1个槽棒(3)设置位置为2个相对设置的槽棒(3)之间距离的中心位置。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1