1.一种12英寸石英舟,其特征在于,包括:
用于进行放置物位置限制的顶板(1)及底板(2);
若干槽棒(3),将所述顶板(1)与所述底板(2)连接,且设置在所述顶板(1)及所述底板(2)的外围;
所述顶板(1)、所述底板(2)及若干槽棒(3)形成硅片放置区(4);
挡板(5),设置在所述槽棒(3)上,并将所述硅片放置区(4)分为容量不相同的第一空间(41)和第二空间(42)。
2.如权利要求1所述的12英寸石英舟,其特征在于,所述槽棒(3)包括:
用于连接所述顶板(1)及所述底板(2)的棒体,设置在所述顶板(1)与所述底板(2)之间;
用于限定放置物位置的若干放置槽,设置在所述棒体上。
3.如权利要求1所述的12英寸石英舟,其特征在于,所述槽棒(3)为3个,其中2个槽棒(3)相对设置,另1个槽棒(3)设置位置为2个相对设置的槽棒(3)之间距离的中心位置。