一种12英寸石英舟的制作方法

文档序号:12196612阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提出了一种12英寸石英舟立式成型方法及12英寸石英舟,解决了现有技术中因技术和设备的限制,造成成本的增加及效率降低的问题;包括顶板及底板;若干槽棒将顶板与底板连接顶板、底板及若干槽棒形成硅片放置区;挡板,设置在槽棒上,并将硅片放置区分为容量不相同的第一空间和第二空间;本实用新型提出的12英寸石英舟能够保证合格率的同时提高成品率。

技术研发人员:张忠恕;陈强;张娟;于洋;边占宁;刘文静;王笑波;孙云涛;王志刚;李宝军;冯继瑶;王连连;李翔星;赵晓亮
受保护的技术使用者:北京凯德石英股份有限公司
文档号码:201620823419
技术研发日:2016.08.02
技术公布日:2017.03.15

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