本实用新型涉及一种传送机构，具体涉及一种硅片传送机构。
背景技术：
硅片传输机械手是一种在集成电路制造业中，用于硅片在生产线上不同的工艺加工模块之间进行高效的传输和定位的专用机器人。集成电路制造业的特点是超精密化、超洁净环境和细微化，硅片传输过程中的轻微震动都可能对硅片造成损坏，这就对硅片传输机械手在运行过程中的平稳性提出了较高要求。现有的传送机构已经不能满足生产的需求。
有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的硅片传送机构，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现要素：
为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种硅片传送机构。
本实用新型的技术方案如下：
一种硅片传送机构，其特征在于：包括圆柱形的主体(1)，以及设置在所述主体(1)上的多层转动臂，所述多层转动臂为设置在所述主体(1)上的第一转动臂(2)，设置在所述第一转动臂(2)顶端的第二转动臂(3)，设置在所述第二转动臂(3)顶端的第三转动臂(4)，所述第三转动臂(4)顶端连接抓取装置(5)。
进一步的，所述主体(1)和所述第一转动臂(2)通过一升降装置(11)连接，所述升降装置(11)用于升降所述第一转动臂(2)。
进一步的，所述抓取装置(5)上设置有位置传感器，所述主体(1)内部设置有控制系统，所述位置传感器用于采集所述抓取装置(5)的位置信息并将位置信息发送给所述控制系统，所述控制系统用于控制升降装置(11)、第一转动臂(2)、第二转动臂(3)以及第四转动臂(4)的运行。
借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：
本实用新型通过传感器和控制系统能够方便控制传动机构对硅片进行传送。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图中：1-主体；2-第一转动臂；3-第二转动臂；4-第三转动臂；5-抓取装置。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
参见图1，本实用新型一较佳实施例所述的一种硅片传送机构，包括圆柱形的主体1，以及设置在所述主体1上的多层转动臂，所述多层转动臂为设置在所述主体1上的第一转动臂2，设置在所述第一转动臂2顶端的第二转动臂3，设置在所述第二转动臂3顶端的第三转动臂4，所述第三转动臂4顶端连接抓取装置5。
-所述主体1和所述第一转动臂2通过一升降装置11连接，所述升降装置11用于升降所述第一转动臂2。
-所述抓取装置5上设置有位置传感器，所述主体1内部设置有控制系统，所述位置传感器用于采集所述抓取装置5的位置信息并将位置信息发送给所述控制系统，所述控制系统用于控制升降装置11、第一转动臂2、第二转动臂3以及第四转动臂4的运行。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。