一种LED蓝宝石衬底用的清洗架的制作方法

本实用新型涉及蓝宝石技术领域，具体为一种LED蓝宝石衬底用的清洗架。

背景技术：

通常，GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底，蓝宝石的硬度非常高，在自然材料中其硬度仅次于金刚石，但是在LED器件的制作过程中却需要对它进行减薄和切割（从400μm减到100μm左右），蓝宝石衬底不能直接被利用，而需要对他进行进一步加工才能使用，蓝宝石衬底需要进过长晶、定向、掏棒、滚磨、品检、定向、切片、研磨、倒角、抛光、清洗和品检，进过此工艺加工后方可使用，目前蓝宝石加工设备较多，其中清洗设备为最后一道加工工序，尤为重要，而目前的蓝宝石清洗设备每次清洗数量较少，已然跟不上日益增长的需求，且批量清洗时，由于太薄而支撑架难以固定，所以急需一种固定较好且增大每次清洗数量的蓝宝石清洗架。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种LED蓝宝石衬底用的清洗架，具备手动卡盘固定和多个夹紧杆夹紧的优点，解决了难以固定和批量清洗的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种LED蓝宝石衬底用的清洗架，包括架体，所述架体的底部设置有过滤层，所述架体的两侧开设有固定槽，所述固定槽的内部设置有轴承，所述轴承的内圈固定连接有伸缩拉杆，所述伸缩拉杆的中部活动连接有固定螺母，所述伸缩拉杆的一端贯穿卡盘体并且延伸至卡盘体的内部，所述伸缩拉杆与卡盘体螺纹连接，所述伸缩拉杆的一端开设有活动槽，所述活动槽的表面活动连接有行程销，所述行程销的一端活动连接有卡爪，所述卡爪的一侧开设有行程槽，所述行程销的中部活动连接有卡销，所述卡销与卡盘体固定连接，所述卡爪的顶部固定连接有夹紧杆。

优选的，所述卡盘体的外侧开设有卡爪槽，所述卡爪槽为T字形状，所述卡爪为工字形状。

优选的，所述行程槽、行程销的两端和活动槽的形状均为圆弧形状。

优选的，所述过滤层的表面分别开设有过滤口和止回口，所述过滤口和止回口呈梯形形状。

优选的，所述夹紧杆的数量为三个，夹紧杆的一侧开设有夹紧口，所述夹紧口呈三角形状。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置轴承，可以使得LED蓝宝石衬底清洗和伸缩拉杆转动以达到带动夹紧杆转动的效果，使清洗效果达到最佳，通过设置夹紧杆上设置多个夹紧口，达到了批量清洗的效果。

2、本实用新型通过伸缩拉杆与卡盘体的螺纹连接，能够使卡爪在行程销的作用下进行径向滑动，达到稳定固定的效果，通过固定螺母，能够有效避免伸缩拉杆在固定后出现松动的现象，通过行程槽、行程销的两端和活动槽的形状均为圆弧形状的设置，能够有效增强卡爪的灵活性，通过夹紧口的三角形形状的设置，能够有效降低蓝宝石边缘卡紧后出现松动的现象，从而有效的解决了蓝宝石清洗时固定不稳和清洗量少的问题。

附图说明

图1为本实用新型俯视图；

图2为本实用新型卡盘立体半剖图；

图3为本实用新型过滤层正视图图；

图4为本实用新型卡盘体俯视图；

图5为本实用新型卡爪俯视图。

图中：1架体、2过滤层、3固定槽、4轴承、5伸缩拉杆、6固定螺母、7卡盘体、8活动槽、9行程销、10卡爪、11行程槽、12卡销、13夹紧杆、14卡爪槽、15过滤口、16止回口、17夹紧口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，一种LED蓝宝石衬底用的清洗架，包括架体1，架体1的底部设置有过滤层2，过滤层2的表面分别开设有过滤口15和止回口16，过滤口15和止回口16呈梯形形状，通过止回口16的设置，能够有效避免清洗后的沉淀物回流到清洗设备内，避免刮伤LED蓝宝石衬底，架体1的两侧开设有固定槽3，固定槽3的内部设置有轴承4，通过设置轴承4，可以使得LED蓝宝石衬底清洗和伸缩拉杆5转动以达到带动夹紧杆13转动的效果，使清洗效果达到最佳，轴承4的内圈固定连接有伸缩拉杆5，伸缩拉杆5的中部活动连接有固定螺母6，通过固定螺母6，能够有效避免伸缩拉杆5在固定后出现松动的现象，伸缩拉杆5的一端活动连接有卡盘体7，卡盘体7的外侧开设有卡爪槽14，卡爪槽14为T字形状，通过设置卡爪槽14，保证了卡爪10的稳定性，伸缩拉杆5的一端贯穿卡盘体7并且延伸至卡盘体7的内部，伸缩拉杆5与卡盘体7螺纹连接，通过伸缩拉杆5与卡盘体7的螺纹连接，能够使卡爪10在行程销9的作用下进行径向滑动，达到稳定固定的效果，伸缩拉杆5的一端开设有活动槽8，活动槽8的表面活动连接有行程销9，通过设置行程销9，使得可以连通卡爪10和伸缩拉杆5的动力进行转换，行程销9的一端活动连接有卡爪10，卡爪10为工字形状，卡爪10的一侧开设有行程槽11，行程槽11、行程销9的两端和活动槽8的形状均为圆弧形状，通过行程槽11、行程销9的两端和活动槽8的形状均为圆弧形状的设置，能够有效增强卡爪10的灵活性，行程销9的中部活动连接有卡销12，卡销12与卡盘体7固定连接，卡爪10的顶部固定连接有夹紧杆13，夹紧杆13的数量为三个，夹紧杆13的一侧开设有夹紧口17，夹紧口17呈三角形状，通过设置夹紧杆13上设置多个夹紧口17，达到了批量清洗的效果，通过夹紧口17的三角形形状的设置，能够有效降低蓝宝石边缘卡紧后出现松动的现象，从而有效的解决了蓝宝石清洗时固定不稳和清洗量少的问题。

工作原理：清洗时，将LED蓝宝石衬底放入夹紧杆13上的夹紧口17处，反向转动伸缩拉杆5，伸缩拉杆5上的活动槽8内的行程销9向后转动，行程销9的另一端在行程槽11内向卡盘体7内侧移动，从而带动卡爪10在卡爪槽14内向径向内侧移动，带动夹紧杆13上的夹紧口17夹住LED蓝宝石衬底，固定螺母6转动至卡盘体7处，固定住伸缩拉杆5，将伸缩拉杆5一端的轴承4外圈放入架体1上的固定槽3内，开始在清洗设备中清洗，清洗后的微尘颗粒和金属从过滤层2上的过滤口15和止回口16沉淀至底部，止回口16防止沉淀物返回清洗设备中对LED蓝宝石衬底产生刮伤。

综上所述：该LED蓝宝石衬底用的清洗架，通过卡爪10固定和多个夹紧口17夹紧的优点，解决了LED蓝宝石衬底难以固定和批量清洗的问题。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。