蚀刻设备及其卷式放料装置的制作方法

本实用新型涉及一种成型设备，尤其涉及一种蚀刻设备及其卷式放料装置。

背景技术：

现有的诸如集成电路引线框架在制作过程中，通常都会通过精密冲压的方式在料带上形成通孔或引脚等。冲压的方式一定程度上的满足了引线框架的制作需求。然而，随着电子技术的飞速发展，集成电路的体积越来越小，引脚的数量越来越多。此时，如果仍然采用传统的冲压方式进行成型，模具的花费非常高昂。因此，有必要采用新的技术来替代。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种蚀刻设备及其卷式放料设备。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种蚀刻设备用卷式放料装置，包括框架以及安装于该框架上的至少一个料卷承载装置，该料卷承载装置包括支承座、转轴、螺筒、操作柄、一对螺套、若干对连接杆以及若干个横杆；该转轴以一端可转动地安装在该支撑座上；该螺筒可转动地套设于该转轴上，并具有外螺纹；该操作柄与该螺筒相连，以驱动该螺筒相对该转轴转动；该一对螺套具有与所述外螺纹相配合的内螺纹，其套设在该螺筒上，该内螺纹与该外螺纹以特定的关系相配合，使得该螺筒旋转时，该一对螺套能够在螺筒上靠近或远离；该若干对连接杆呈放射状间隔地分布于该一对螺套的周向上，每一对连接杆的一端分别与该一对螺套铰接；该若干个横杆分别铰接于该若干对连接杆的另一端，用以供料带卷套设于其上；该一对螺套在所述螺筒上靠近或远离时，能够带动所述横杆远离或靠近所述转轴，从而能够适配不同孔径的料带卷。

在一些实施例中，所述外螺纹包括第一外螺纹和第二外螺纹，该第一外螺纹和该第二外螺纹沿着螺筒的轴向分布，且旋转方向相反；所述一对螺套分别套设于该第一外螺纹和第二外螺纹上。

在一些实施例中，所述转轴水平穿设于该支承座中，其包括可转动地穿设于该支撑座中的第一段以及与该第一段相连并供所述螺筒套接的第二段。

在一些实施例中，该料卷承载装置还包括固定盘，该固定盘固定在该转轴上靠近根部处，并能够随着该转轴旋；该固定盘中部固定于所述转轴上，并介于第一段和第二段之间。

在一些实施例中，所述固定盘上还设置有若干个沿径向延伸的导引槽，该若干个横杆靠近该固定盘的端部分别穿设于该导引槽中，并能够沿着该导引槽的长度方向来回移动；所述操作柄固定于所述螺筒远离所述固定盘的一端上。

在一些实施例中，该料卷承载装置还包括若干导杆，该若干导杆一端固定在该固定盘上，另一端固定在该转轴自由端上的限位盘上；所述螺套套设于该导杆上，并能够沿着该导杆长度方向来回移动。

在一些实施例中，还包括底座，所述框架可横向移动地安装于该底座上的框架，所述底座包括供料卷推车推入的缺口。

在一些实施例中，还包括储料单元，所述储料单元包括至少一个动辊以及至少两个定辊，该至少一个动辊可上下移动地设置于该框架中，该至少两个定辊安装于该框架的上部。

在一些实施例中，所述框架包括基座以及竖立在该基座两相对侧的侧板，每一侧板中心开口以及设置于内侧的至少一对间隔竖立的限位杆，以供所至少一个动辊配合于其中。

提供一种蚀刻设备，依序包括上述任一项所述的卷式放料装置、片料放料装置、显影装置、拉料装置、蚀刻装置、片式收料装置以及卷式收料装置。

本实用新型的有益效果：该一对螺套在所述螺筒上靠近或远离时，能够带动横杆远离或靠近转轴，从而能够适配不同孔径的料带卷。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一些实施例中的蚀刻设备的侧视图；

图2是图1所示蚀刻设备的俯视图；

图3是图1所示蚀刻设备的卷式放料装置的立体结构示意图；

图4是图3所示卷式放料装置的立体剖面结构示意图；

图5是图3所示卷式放料装置的料卷承载装置的立体结构示意图；

图6是图5所示料卷承载装置另一视角下的立体结构示意图；

图7是图5所示料卷承载装置的轴向剖面结构示意图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

本实用新型一些实施例提供了一种蚀刻设备，该蚀刻设备可用于诸如集成电路引线框架等结构的蚀刻成型，具备成型精度高、成本低廉的优点。另外，本蚀刻设备还能实现卷对卷(卷料进卷料出)、卷对片(卷料进片料出)以及片对片(片料进片料出)等多功能，极大地满足了用户的不同需求。

如图1及图2所示，本实用新型一些实施例中的蚀刻设备可依序包括卷式放料装置A、输送辊道B、校平装置C、拉料装置D、显影装置E、第一水洗装置F、第一烘干装置G、蚀刻装置H、第二水洗装置I、剥离装置J、第三水洗装置K、第二烘干装置L、片式收料装置M以及卷式收料装置N。

卷式放料装置A用于承载并平稳放出卷料，该卷料可为按照需要曝光后的材料。可以理解地，在一些实施例中也可以把曝光设备整合到蚀刻设备，从而可以在蚀刻设备中进行曝光。该输送辊道B大致贯穿整个蚀刻设备，以将料带或片料由上游向下游平稳输送，该输送辊道B可包括一个可敞开的前端，以供片料放入，形成片料放料装置。校平装置C可布置在该片料放料装置的紧邻下游，用于对料带进行校平，防止料带不够平整而影响到后续的蚀刻效果。拉料装置D用于拉动料带驱动料带向下游行进，使得卷料被蚀刻呈片料时，料带仍然能够很好地移动。显影装置E用于对曝光后的料带或片料进行显影。第一水洗装置F用于对显影后的料带或片料进行清洗，防止显影药水被带入下游的蚀刻装置H中，而对蚀刻装置H内药水造成污染。第一烘干装置G用于对清洗后的料带进行烘干，在一些实施例中，在第一水洗装置F和第一烘干装置G之间还设置有吸水装置P。蚀刻装置H用于对显影后的料带或片料进行蚀刻，以形成需要的成型结构；蚀刻装置可以将料带蚀刻成片料。第二水洗装置I用于对蚀刻后的料带或片料进行清洗，剥离装置J用于对清洗后的料带或片料上的菲林膜进行剥离，并将具备菲林膜废渣回收功能，以节约剥离药水的使用。第三水洗装置K用于对剥离菲林膜的料带或片料进行清洗，第二烘干装置L则用于对清洗后的料带或片料进行烘干；同样，第三水洗装置K和第二烘干装置L之间也可以设置吸水装置P。片式收料装置M用于收取片料，卷式收料装置N用于收取卷料。

在上述的蚀刻设备中，由于同时具备了卷式放料装置A、片料放料装置、显影装置E、拉料装置D、蚀刻装置H、片式收料装置M以及卷式收料装置N，使得该蚀刻设备具备卷对卷、卷对片以及片对片三种蚀刻成型模式。具体而言，当需要卷料进和卷料出时，则只要片料放料装置和片式收料装置M不工作即可。当需要卷料进和片料出时，只要卷式收料装置N不工作即可。而当需要片料进和片料出时，只要卷式放料装置A和卷式收料装置N不工作即可。如此，该蚀刻设备为用户的使用带来了极大的便利。

如图3及图4所示，卷式放料装置A在一些实施例中可包括底座11、可横向移动地安装于该底座11上的框架12、形成于框架12中的储料单元13以及安装于该框架12上的两个料卷承载装置14。框架12可横向移动地设置于底座11上，可以方便料带与下游装置(例如，校平装置C)的横向对齐。该两个料卷承载装置14为一备一用，以便其中一个损坏或卷料放完时，尽快切换到另一个上。

底座11在一些实施例中可由钢结构制成，并大致呈长方形框体状，其可用于固定在地面上以支撑框架12。底座11可包括两个缺口110，该两个缺口110分别与该两个料卷承载装置14对应，以便料卷推车能移动到该两个缺口110内，方便料卷在料卷承载装置13上的套接安装。底座11还可包括横向设置导轨112，以供框架12可横向移动地安装于其上。

框架12在一些实施例中可包括基座121以及竖立在该基座121两相对侧侧板122和123。基座121的形状与底座11的形状相近，其包括与缺口110的缺口1210，该缺口1210也是方便料卷推车到卷式放料装置A内部，方便料卷在料卷承载装置14上的套接安装。基座121设置于底座11的导轨112上，并与该导轨112相配合，并能够沿着导轨112的长度方向来回移动，进而带动框架12在底座11的横向移动。侧板122在一些实施例可包括中心开口1220、设置于内侧的两对间隔竖立的限位杆1221；侧板123在一些实施例可包括中心开口1230、设置于内侧的两对间隔竖立的限位杆1231，以供储料装置13的动辊132配合于其中。框架12在一些实施例中还可包括第一导向辊124和第二导向辊125，以分别对应该两个料卷承载装置13设置，以相应导引料带的传输方向。

储料单元13在一些实施例中可包括三个定辊131和分别与该三个定辊131相配合并交替布置的两个动辊132，该三个定辊131的两端分别安装于在框架12的侧板122和123的顶部位置。该两个动辊132的两端分别穿置在两对限位杆1221和1231中，并能够沿着该两对限位杆1221和1231上下移动；该两个动辊132用于凭借自身的重力拉动料带向下。料带在输出的过程中，首先从第一定辊131上侧绕过，再向下延伸兜住第一个动辊132，再往上延伸绕过第二个定辊131的外侧。然后，向下延伸兜住第二个动辊132，再往上延伸绕过第三个定辊131输出。由于，两个动辊132的存在，当料卷上的料带充足时，动辊132在重力的作用下，带动料带下垂一定距离，并达到力的平衡。而当卷料上的料带结束时，进料端停止进料，而出料端继续出料，从而拉动两个动辊132缓慢向上移动。也就是说，当料卷上料带放完时，仍然能够通过储料单元13释放料，为料卷的更换提供了足够的时间。可以理解地，动辊132的数量并不局限于两个，一个或两个以上的也可以，具体可以根据料带输出的速度而定。当输出速度较慢时，一个亦可；当输出速度较快时，可以多设置一些。

一同参阅图5至图7，料卷承载装置14在一些实施例中可包括支承座141、转轴142、固定盘143、螺筒144、操作柄145、一对螺套146、若干对连接杆147以及若干个横杆148。支承座141可立设于地面上，该转轴142以一端可转动地安装在该支撑座141上。该固定盘143固定在该转轴142上靠近根部处，并能够随着该转轴142旋转。该螺筒144可转动地套设于该转轴142上，并具有第一外螺纹1441和第二外螺纹1442，该第一外螺纹1441和该第二外螺纹1442沿着螺筒144的轴向分布，且旋转方向相反。

该操作柄145与该螺筒144相连，以驱动该螺筒144相对该转轴142转动。该一对螺套146具有内螺纹，其套设在该螺筒144上，并分别与该第一外螺纹1441和第二外螺纹1442相螺合，使得该螺筒144旋转时，该一对螺套146能够在螺筒144上靠近和远离。例如，当螺筒144顺时针方向旋转时，驱动该一对螺套146相远离；当螺筒144逆时针方向旋转时，驱动该一对螺套146相靠近。

该若干对连接杆147呈放射状间隔地分布于该一对螺套146的周向上，每一对连接杆147的一端分别与该一对螺套146铰接。该若干个横杆148分别铰接于该若干对连接杆147的另一端，用以供料带卷套设于其上。该一对螺套146在螺筒144上靠近或远离时，能够带动横杆148远离或靠近转轴142，从而能够适配不同孔径的料带卷。

支承座141在一些实施例中可呈纵向柱状，其可采用金属材料制成，并可呈盒装，用以支撑该转轴142。转轴142水平穿设于支承座141中，其在一些实施例中可包括穿设于支撑座141中的第一段1421、与第一段1421相连并供螺筒144套接的第二段1422。该第一段1421与该支撑座141之间可通过轴承1423相连接，第一段1421的自由端可设置有齿轮1424，以与驱动机构相啮合，供驱动机构驱动该转轴142旋转。

固定盘143可呈圆盘状，其中部固定于转轴142上，并介于第一段1421和第二段1422之间。在一些实施例中，为了使得横杆148顺畅地沿着转轴142的径向方向来回移动，固定盘143上还设置有若干个沿径向延伸的导引槽1431，该若干个横杆148靠近该固定盘143的端部分别穿设于该导引槽1431中，并可沿着该导引槽1431的长度方向来回移动。

螺筒144可通过轴承套设在转轴142上，操作柄145固定于螺筒144远离固定盘143的一端上，以手动操作螺筒144相对于转轴142转动。在一些实施例中，为了防止螺套146随着螺筒144旋转，还设置有若干导杆149，该若干导杆149一端固定在固定盘143上，另一端固定在转轴142自由端上的限位盘1425上，并与转轴142相平行。螺套146的凸缘1461套设在该若干导杆149上，并能够沿着导杆149的长度方向来回移动。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。