专利名称：减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种太阳能电池蚀刻设备，且特别是涉及一种减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备。
背景技术：
太阳能电池是一种利用光电效应将太阳光能直接转换成电能的干净能源。目前以硅晶太阳能电池的发展与应用范围最广。 图IA至图IF是现有的硅晶太阳能电池的制造流程剖面示意图。一般会先对硅晶基板100进行表面结构化工艺，使其正面102、背面104与侧边106均产生表面结构(如图1A)，然后对硅晶基板100进行扩散工艺，而成使硅晶基板100表面含正面102、背面104与侧边106都形成扩散区108(如图1B)。接着，进行绝缘(isolation)工艺，蚀刻去除硅晶基板100的正面102以外的扩散区108，使硅晶基板100的背面104a与侧边106a无扩散区，以达到晶边绝缘的效果(如图1C)。随后，于正面102的扩散区108上形成抗反射层110 (如图1D)，再于抗反射层110表面及硅晶基板100的背面104a上分别涂布导电胶112和114(如图1E)。最后进行烧结，使导电胶成为正面电极116与背面电极118，其中正面电极116会穿过抗反射层110与扩散区108接触。然而在进行绝缘工艺时，通常是采用能循环给药的蚀刻设备，所以在蚀刻期间如果给药的管线中有气泡累积到一定程度，则容易因为突发的大气泡排出，间接造成硅晶基板100产生蚀刻痕，如图2A与图2B所示。在俯视图(图2A)中，因气泡冒出而使蚀刻剂接触硅晶基板100边缘200的扩散区108，而使其被蚀刻而影响太阳能电池的外观。严重的话，会如图2B所示的剖面，因硅晶基板100边缘200的扩散区108被蚀刻掉，导致太阳能电池的受光面积降低而影响光电转
换效率。
发明内容
本发明提供一种减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，能防止因气泡导致太阳能电池表面的蚀刻痕的产生。本发明提出一种减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，包括一蚀刻槽、设置于蚀刻槽内的一给药管以及包覆给药管的一气泡引导装置，用以引导自上述给药管排出的气泡往给药管的端部移动。在本发明的一实施例中，上述气泡引导装置包括滤网。在本发明的一实施例中，上述气泡引导装置还包括一固定件，设置于上述给药管中段用以固定滤网。在本发明的一实施例中，上述气泡引导装置还包括至少一支撑件，设置于上述给药管的端部用以支撑滤网。在本发明的一实施例中，上述给药管在其端部之间设有多个药液出口。
在本发明的一实施例中，上述设备还包括一给药槽，连接至给药管，以连续供应一蚀刻药液至蚀刻槽内。在本发明的一实施例中，上述设备还包括一马达，用以抽取给药槽内的蚀刻药液到蚀刻槽内。在本发明的一实施例中，上述设备还包括一药液回收管，自上述蚀刻槽连接至给药槽，以循环供应蚀刻药液。在本发明的一实施例中，上述设备还包括一硅晶基板移动装置，设于蚀刻槽内的给药管上方。在本发明的一实施例中，上述硅晶基板移动装置包括多个移动滚轮，以带动一硅晶基板连续移动。基于上述，本发明的设备藉由气泡引导装置来引导自给药管排出的气泡往给药管 的端部移动，故可减少因气泡导致太阳能电池表面的蚀刻痕的发生率。为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。
图IA至图IF是现有硅晶太阳能电池的制造流程剖面示意图。图2A是图IC的娃晶基板边缘有蚀刻痕的俯视图。图2B是图2A的B-B线段的剖面图。图3是依照本发明的一实施例的一种减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备的示意图。图4是图3的气泡引导装置的一例的细部结构示意图。图5A和图5B分别是图4的支撑件的两例的示意图。图6是依照图3的减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备进行蚀刻的示意图。附图标记100、604 :硅晶基板102 :正面104、104a、608 :背面106、106a、610 :侧边108 :扩散区110:抗反射层112、114:导电胶116:正面电极118:背面电极200 :边缘300 :蚀刻槽302 :给药管304:气泡引导装置306、612 :气泡
308 :端部310:药液出口312 :给药槽314 :蚀刻药液
316 :马达318 :药液回收管400 :滤网402:固定件404 :支撑件406 :两端500:圆环502 :十字支撑架600 :硅晶基板移动装置602 :移动滚轮606 :液面
具体实施例方式以下内容请参照附图，以便能更充分地了解本发明，然而本发明尚可藉由多种不同形式来实践，且不应将其解释为限于本文所述的实施例。事实上，提供以下实施例仅为使本发明能被详尽且完整地传达至所属技术领域的普通技术人员。在附图中，为明确起见可能未按比例绘制各构件以及区域的尺寸及其相对尺寸。图3是依照本发明的一实施例的一种减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备的示意图。在图3中，减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，包括一蚀刻槽300、设置于蚀刻槽300内的一给药管302以及包覆给药管302的一气泡引导装置304，用以引导自上述给药管302排出的气泡306往给药管302的端部308移动。给药管302在其端部308之间可设有多个药液出口 310。而且，还有一个连接至给药管302的给药槽312，以连续供应一蚀刻药液314至蚀刻槽300内。上述蚀刻药液314可藉由一马达316，将其抽取至蚀刻槽300内。另外，在整个设备中还可设置一药液回收管318，自上述蚀刻槽300连接至给药槽312，以循环供应蚀刻药液314。图4是图3的气泡引导装置304的一例的细部结构示意图。在图4中，气泡引导装置例如是滤网400，以使蚀刻药液能通过但气泡却被挡在滤网400内，譬如PP材质的滤网等。此外，可在给药管302中段设置如耐强酸束线带之类的固定件402，以便加强滤网400的固定。而在给药管302的端部308设置支撑件404，则带有支撑滤网400防止气泡累积于滤网400内的功效。支撑件404的形状不拘，只要能维持滤网400的两端406不封闭即可,譬如完全撑开滤网400的两端406的圆环500 (如图5A)或维持滤网400的两端406的十字支撑架502 (如图5B)。然后配合硅晶基板进行连续蚀刻的工艺与图3的设备，详细说明本发明的功效。图6是依照图3的减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备进行蚀刻的示意图。
在图6中，除图3所示的各构件外，还包括一硅晶基板移动装置600，设于蚀刻槽300内的给药管302上方。所述硅晶基板移动装置600具有多个移动滚轮602，以带动一硅晶基板604连续移动。当硅晶基板604自蚀刻槽300的一侧往另一侧移动时，蚀刻药液314的液面606需维持在硅晶基板604的背面608与侧边610，以进行绝缘(isolation)工艺。此时，如果给药管302内有气泡累积到一定程度，自给药管302的药液出口 310喷出大气泡612，气泡引导装置304将会将气泡612引导至其两端406消除或细化。而且，如本图所示，气泡引导装置304的两端406设在硅晶基板604不会经过的区域，对于防止太阳能电池表面的蚀刻痕的效果更为显著。综上所述，本发明藉由改良太阳能蚀刻工艺中的蚀刻设备，能 使气泡所导致的太阳能电池表面的蚀刻痕发生率大幅降低，且不需浪费时间停机排气。虽然本发明已以实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域的普通技术人员，当可作些许的更动与润饰，而不脱离本发明的精神和范围。
权利要求
1.一种减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，适用于一太阳能电池的蚀刻工艺，其特征在于该设备至少包括 一蚀刻槽； 一给药管，设置于该蚀刻槽内；以及 一气泡引导装置，包覆该给药管，以便引导自该给药管排出的气泡往该给药管的端部移动。
2.根据权利要求I所述的减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，其特征在于该气泡引导装置包括一滤网。
3.根据权利要求2所述的减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，其特征在于该气泡引 导装置还包括一固定件，设置于该给药管中段用以固定该滤网。
4.根据权利要求2所述的减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，其特征在于该气泡引导装置还包括至少一支撑件，设置于该给药管的该端部用以支撑该滤网。
5.根据权利要求I所述的减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，其特征在于该给药管在该端部之间设有多个药液出口。
6.根据权利要求I所述的减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，其特征在于该设备还包括一给药槽，连接至该给药管，以连续供应一蚀刻药液至该蚀刻槽内。
7.根据权利要求6所述的减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，其特征在于该设备还包括一马达，用以抽取该给药槽内的该蚀刻药液到该蚀刻槽内。
8.根据权利要求6所述的减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，其特征在于该设备还包括一药液回收管，自该蚀刻槽连接至该给药槽，以循环供应该蚀刻药液。
9.根据权利要求I所述的减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，其特征在于该设备还包括一硅晶基板移动装置，设于该蚀刻槽内的该给药管上方。
10.根据权利要求9所述的减少太阳电池表面的能蚀刻痕的设备，其特征在于该硅晶基板移动装置包括多个移动滚轮，以带动一硅晶基板连续移动。
全文摘要
一种减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，包括一蚀刻槽、设置于蚀刻槽内的一给药管以及包覆给药管的一气泡引导装置。所述气泡引导装置能引导自上述给药管排出的气泡往给药管的至少一端部移动。本发明的设备藉由气泡引导装置来引导自给药管排出的气泡往给药管的端部移动，故可减少因气泡导致太阳能电池表面的蚀刻痕的发生率。
文档编号H01L31/18GK102738295SQ201110093500
公开日2012年10月17日 申请日期2011年4月12日 优先权日2011年4月12日
发明者陈其成 申请人:联景光电股份有限公司