半导体乘载盘及其乘载单元的制作方法

文档序号:12653275阅读:来源:国知局
技术总结
一种半导体乘载盘包含有复数个乘载单元,其中各该乘载单元包含:一基底,具有一第一面以及一位于该第一面的反侧的第二面,该第一面上设有一凹槽以及至少一个延伸槽;复数个支撑件,设置于该基底的第一面上,环绕该凹槽;各该支撑件的内侧分别具有一抵靠斜面。藉此,当一个具有凸出的接脚的半导体元件放置于一个乘载单元上时,接脚会洽落入该延伸槽中,使此半导体元件可稳固的放置于本实用新型的半导体乘载盘上,且不会造成损伤。

技术研发人员:王智
受保护的技术使用者:王智
文档号码:201621393385
技术研发日:2016.12.19
技术公布日:2017.06.13

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