用于间隙检测的智能止动器和控制机制的制作方法

技术特征：

技术总结
公开了用于使用止动器、致动器和发射器/检测器来测量两个部件之间的接近度的设备与方法，所述发射器/检测器使光通过所述致动器中的通路。所述通路提供对光的衰减，所述衰减随部件之间的间隙改变而改变，从而允许对间隙的测量与控制。还描述了使用设备来确定部件的拓扑的方法。

技术研发人员：S·坎德沃尔;G·K·翁;K·格里芬;J·约德伏斯基
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2016.01.20
技术公布日：2017.08.29