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p型杂质扩散组合物、使用其的半导体元件的制造方法以及太阳能电池及其制造方法与流程
文档序号:11289464
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来源:国知局
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p型杂质扩散组合物、使用其的半导体元件的制造方法以及太阳能电池及其制造方法与流程
技术特征:
技术总结
本发明的目的在于提供可提高涂布液的保存稳定性、且可向半导体衬底均匀扩散的p型杂质扩散组合物。为实现上述目的,本发明具有以下构成。即,p型杂质扩散组合物,其特征在于,包含(A)第13族元素化合物、(B)含羟基的高分子及(C)有机溶剂,作为所述(C)有机溶剂,含有(C1)环状酯系溶剂。
技术研发人员:
池上由洋;村濑清一郎;稻叶智雄
受保护的技术使用者:
东丽株式会社
技术研发日:
2016.02.10
技术公布日:
2017.09.26
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