1.一种质谱仪系统，其包括：
真空歧管，其包含：
前级管道腔室，其具有源入口、前级管道入口和前级管道出口；以及
高真空腔室；以及
高真空泵，其具有
真空端口，其耦合到高真空腔室；以及
前级管道端口，其耦合到所述前级管道入口。
2.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，进一步包括耦合到所述前级管道出口的前级管道泵。
3.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，所述前级管道腔室可在0.1托与10托之间的压力下操作。
4.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，所述高真空腔室可在1×10-12托与1×10-3托之间的压力下操作。
5.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，进一步包括在所述前级管道腔室与所述高真空腔室之间的中间真空腔室。
6.根据权利要求5所述的质谱仪系统，其特征在于，所述中间真空腔室可在1×10-4托与2×10-1托之间的压力下操作。
7.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，进一步包括在所述前级管道腔室与所述高真空腔室之间的两个中间真空腔室。
8.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，进一步包括在所述高真空腔室内的质量分析器。
9.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，所述真空歧管为单片真空歧管。
10.一种质谱仪系统，其包括：
真空歧管，其包含：
前级管道腔室，其具有前级管道入口和前级管道出口；
高真空腔室；以及
中间真空腔室，其位于所述前级管道腔室与所述高真空腔室之间；以及
高真空泵，其包含：
主级，其耦合到所述高真空腔室；
中间级，其耦合到所述中间真空腔室；以及
前级管道端口，其耦合到所述前级管道腔室；
其中来自所述高真空泵的气体流动通过所述前级管道腔室且经由所述前级管道出口流出到前级管道泵。
11.根据权利要求10所述的质谱仪系统，其特征在于，所述前级管道腔室可在0.1托与10托之间的压力下操作。
12.根据权利要求10所述的质谱仪系统，其特征在于，所述高真空腔室可在1×10-12托与1×10-3托之间的压力下操作。
13.根据权利要求10所述的质谱仪系统，其特征在于，所述中间真空腔室可在1×10-4托与2×10-1托之间的压力下操作。
14.根据权利要求10所述的质谱仪系统，其特征在于，进一步包括在所述高真空腔室内的质量分析器。
15.根据权利要求10所述的质谱仪系统，其特征在于，进一步包括位于所述中间真空腔室与所述高真空腔室之间的第二中间真空腔室。
16.根据权利要求10所述的质谱仪系统，其特征在于，所述真空歧管为单片真空歧管。
17.一种真空歧管，所述真空歧管用于质谱仪系统，所述真空歧管包括：
前级管道腔室，其具有源入口、前级管道入口和前级管道出口；
第一中间真空腔室，其通过具有第一挡扳孔口的第一挡扳而与所述前级管道腔室分离，所述第一中间真空腔室具有第一真空出口；
第二中间真空腔室，其通过具有第二挡扳孔口的第二挡扳而与所述第一中间真空腔室分离，所述第二中间真空腔室具有第二真空出口；以及
高真空腔室，其通过具有第三挡扳孔口的第三挡扳而与所述第二中间真空腔室分离，所述高真空腔室具有第三真空出口。
18.根据权利要求17所述的真空歧管，其特征在于，所述前级管道出口适于连接到前级管道泵。
19.根据权利要求17所述的真空歧管，其特征在于，所述前级管道入口、所述第一真空出口、所述第二真空出口和所述第三真空出口适于连接到多端口高真空泵。
20.根据权利要求17所述的真空歧管，其特征在于，所述第一挡扳孔口具有在0.4mm2与40mm2之间的横截面积。
21.根据权利要求17所述的真空歧管，其特征在于，所述第二挡扳孔口具有在0.4mm2与40mm2之间的横截面积。
22.根据权利要求17所述的真空歧管，其特征在于，所述第三挡扳孔口具有在0.4mm2与40mm2之间的横截面积。
23.根据权利要求17所述的真空歧管，其特征在于，所述第一真空出口具有在400mm2与12000mm2之间的横截面积。
24.根据权利要求17所述的真空歧管，其特征在于，所述第二真空出口具有在400mm2与12000mm2之间的横截面积。
25.根据权利要求17所述的真空歧管，其特征在于，所述第三真空出口具有在5000mm2与36000mm2之间的横截面积。
26.根据权利要求17所述的真空歧管，其特征在于，所述真空歧管为单片真空歧管。