技术总结
本实用新型涉及一种质谱仪系统，其可包含真空歧管和高真空泵。所述真空歧管可包含前级管道腔室和高真空腔室。所述前级管道腔室可具有源入口、前级管道入口和前级管道出口。所述高真空泵可具有耦合到高真空腔室的真空端口和耦合到所述前级管道入口的前级管道端口。本实用新型还涉及一种真空歧管，该真空歧管用于质谱仪系统。借助根据本实用新型的质谱仪系统及真空歧管，可以改善用于质谱的真空系统。
技术研发人员：S·T·夸姆比;B·A·泰立瑞尔
受保护的技术使用者：萨默费尼根有限公司
技术研发日：2016.02.01
技术公布日：2018.11.06