透射型X射线靶和包括该透射型X射线靶的放射线产生管的制作方法

技术总结
本公开内容涉及透射型X射线靶和包括该透射型X射线靶的放射线产生管。一种透射型X射线靶包括平板形金刚石基板和靶层，平板形金刚石基板具有第一表面和面对第一表面的第二表面，靶层位于第一表面上。第一表面的残留应力低于第二表面的残留应力。

技术研发人员：五十岚洋一;小仓孝夫;塚本健夫
受保护的技术使用者：佳能株式会社
文档号码：201710019459
技术研发日：2014.01.17
技术公布日：2017.05.31