一种可发多种复合光及单色光LED芯片的制备方法与流程

文档序号:12479164阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可发多种复合光及单色光LED芯片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、NP-PN外延结构的生长;

S11、将图形化蓝宝石衬底放入外延生长炉MOCVD中,采用有缓冲buffer层的外延程序生长,生长采用氢气作为载气,使用Ga源、In源、N源和P型掺杂剂、N型掺杂剂,衬底在反应室内经过高温热处理去除表面杂质;

S12、采用二步法生长,先生长一层10~50nm的低温GaN缓冲层buffer,然后升温生长4μm的N型GaN材料。 LED结构的样品在此基础上继续生长由1~100个周期InxGa1-xN/GaN构成的有源区量子阱,其上是10~50nm的P型AlGaN电子阻挡层,最后生长400nm~550nm的P型GaN接触层;

S13、继续在步骤S2中的结构上面生长10~50nm的P型AlGaN电子阻挡层,然后生长1~100个周期的GaN/InyGa1-yN构成的有源区,最后生长200nm~400nm的N型GaN接触层;

S2、芯片制程;

S21、完成步骤S1中的外延生长后,分别通过mesa-1光刻、mesa-1刻蚀和通过mesa-2光刻、mesa-2刻蚀,然后通过NP光刻、镀金属Ni/Cu后,剥离清洗,最后在芯片表面沉积一层SiO2保护层,去除电极表面的SiO2,成为成品芯片。

2.根据权利要求1所述的一种可发多种复合光及单色光LED芯片的制备方法,其特征在于,所述步骤S11中的图形化蓝宝石衬底可以替换为SiC衬底或Si衬底。

3.根据权利要求1所述的一种可发多种复合光及单色光LED芯片的制备方法,其特征在于,所述步骤S11中的Ga源、In源、N源分别为三甲基镓、三甲基铟和氨气。

4.根据权利要求1所述的一种可发多种复合光及单色光LED芯片的制备方法,其特征在于,所述步骤S11中的P型掺杂剂、N型掺杂剂分别是二茂镁和硅烷。

5.根据权利要求1所述的一种可发多种复合光及单色光LED芯片的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中的外延结构可以替换制成PN-NP结构或NP-PN-NP,并且后面每增加一层外延结构,发光层增加一层。

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