一种太阳能电池片制备方法与流程

文档序号:19818579发布日期:2020-02-04 09:30阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种太阳能电池片的制备方法,其特征在于,步骤包括:在硅基体表面开设开口宽度为500~1200nm、深度为200~500nm的基体孔洞,后经过扩散、附着减反射膜制得太阳能电池片;

步骤包括:s11,沉积金属粒子:将硅基体置于含金属离子的盐及氢氟酸的混合液中沉积金属粒子;

s21,开微纳米孔:将步骤s11所得硅基体置于含氢氟酸及双氧水的刻蚀液中刻蚀;所述刻蚀液中双氧水的体积:氢氟酸的体积:水的体积=(2~5):1:(5~8);步骤s21中所述双氧水的质量浓度为30~32%;所述氢氟酸的质量浓度为49~50%;

s31,削扩微纳米孔:将步骤s21所得硅基体置于含硝酸及氢氟酸的混合酸液中,所述混合酸液中硝酸的体积:氢氟酸的体积:水的体积=(5.0~9.0):1:(7~10);步骤s31中所述硝酸的质量浓度为65~68%;所述氢氟酸的质量浓度为49~50%;

s41、除多孔硅及微纳米孔修正:将步骤s31所得硅基体置于碱液中去除多孔硅层及对微纳米孔进行修正;

s51、去除金属粒子;

s61、扩散;

s71、镀减反射膜;

s81、制备太阳能电池电极;

制得太阳能电池片。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤s21中刻蚀的时间为200~300s。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤s31中混合酸液中硝酸的体积:氢氟酸的体积:水的体积=(6.0~8.0):1:(8~9)。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤s31中置于混合酸液中的时间为80~180s,混合酸液的温度为8~13℃。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤s41中所述碱液为质量浓度0.2~5.0%的氢氧化钠或氢氧化钾溶液,置于碱液中的时间为5.0~30s。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤s11中含金属离子的盐及氢氟酸的混合液中金属离子的浓度为10~100ppm,氢氟酸在混合液中的体积浓度为0.5~10%;其中,所述氢氟酸的质量浓度为49~50%;

所述步骤s51的去除金属粒子为将步骤s41所得硅基体置于含氨水与过氧化氢的溶液中。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池片的制备方法,其特征在于,所述步骤s11前还包括对硅基体进行前处理:

s01,碱初抛;

s02,酸清洗;

所述步骤s51后还包括:

s52,混酸清洗;

s53,慢提拉;

s54,干燥;

所述步骤s61后还包括:

s62、去磷硅玻璃。

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