技术特征:
技术总结
本发明涉及一种高性能减反射膜的制备方法,以硅酸乙酯和碳化硅为原料,制备得到减反射膜,制备思路为:将硅酸乙酯中加入稳定剂与乙烯‑醋酸乙烯共聚物,形成稳定的溶胶液,同时利用碳化硅与聚乙烯吡咯烷酮形成悬浊液,然后依次在硅片上进行镀膜,经历微沸与提拉方式镀膜,最后进行烧结,得到减反射膜。本发明分子间范德华作用力较小,有序性和堆积密度低,提高减反射膜的表面硬度,并提高了减反射膜的透射率,具有明显的增透效果。
技术研发人员:焦秀双
受保护的技术使用者:孝感双华应用科技开发有限公司
技术研发日:2017.05.05
技术公布日:2017.07.11