技术特征：
技术总结
本发明涉及物理气相沉积机台的检测方法，包括：取得物理气相沉积机台分别在偏压P1～Pn的条件下在平整表面进行铜沉积时各自的消减比EDR1～EDRn；将EDR1～EDRn分别与标准机台在相同偏压下的标准消减比进行一一对比，或将EDR1～EDRn与偏压P1～Pn拟合并建立关系式，将标准机台的最大极限消减比取值带入关系式，得出理论最大偏压，将物理气相机台的最大偏压取值与理论最大偏压比较，检测物理气相沉积机台对孔或沟槽的填充能力。本发明通过一种更为科学的方法对物理气相沉积机台的填充能力进行评估，评估方法简单，易操作，结果更为准确。
技术研发人员：潘杰;吕术亮;马亮;章星;李远;万先进
受保护的技术使用者：长江存储科技有限责任公司
技术研发日：2017.11.30
技术公布日：2018.05.22