技术总结
本实用新型涉及对应硅片精密对准倒片装置的腐蚀笼，腐蚀笼本体的中心处设有旋转轴，两端设有固定活动花杆，固定花杆和配合花杆的挡板；活动花杆在挡板处设有活动槽，活动槽为圆弧状，轴心为腐蚀笼本体的回转中心；活动花杆和固定花杆分别设有对应的卡槽。活动花杆和固定花杆配合固定硅片，活动花杆设有活动槽，方便硅片的夹持和取下，配合花杆的增加可为硅片在360°上都可以提供充足的转向动力。本实用新型方便安装，高效腐蚀，减少损伤。
技术研发人员：施炜青;贺贤汉
受保护的技术使用者：上海申和热磁电子有限公司
文档号码：201720030701
技术研发日：2017.01.10
技术公布日：2017.09.15