1.一种扫描聚焦系统，其特征在于，所述系统包括：电子源、电子加速结构、聚焦结构、偏转结构、电子减速结构和高压控制结构；其中，
所述电子源，用于产生电子束；
所述电子加速结构，用于对所述电子源产生的电子束进行加速；
所述聚焦结构，用于对加速后的电子束进行聚焦；
所述偏转结构，用于对聚焦后的电子束进行偏转扫描；
所述电子减速结构，用于产生一减速场，对经偏转扫描后的电子束进行减速；
所述高压控制结构，用于控制所述电子源、所述电子加速结构和所述电子减速结构的电压。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：探测结构，用于对电子束作用于样品后产生的信号电子进行探测。
3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述电子加速结构为一阳极。
4.根据权利要求1至3任一项所述的系统，其特征在于，所述电子减速结构包括：第一电极和第二电极，所述第二电极与样品连接。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述偏转结构包括：第一电偏转器和第二电偏转器。
6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述高压控制结构，用于控制所述电子源电压-V0的值为：-30KV≤-V0≤-10KV；
控制所述电子加速结构的电压值为0；
控制所述第一电极和所述第二电极的电压值均为-V0+V，0V≤V≤3KV。
7.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述第一电极与所述聚焦结构中外极靴的高度相同，所述第一电极与所述聚焦结构中外极靴的水平间距可调。
8.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，所述电子加速结构为高压管中的第三电极。
9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述电子减速结构包括：第五电极、第六电极和所述高压管中的第四电极，所述第六电极与样品连接。
10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述偏转结构包括：第一磁偏转器和第二磁偏转器。
11.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述高压控制结构，用于控制所述电子源电压-V0的值为：-3KV≤-V0≤0V；
控制所述第三电极和所述第四电极的电压+V2的值为10KV≤+V2≤30KV；
控制所述第五电极和所述第六电极的电压值均为0。
12.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述第五电极与所述聚焦结构中外极靴的高度相同，所述第五电极与所述聚焦结构中外极靴的水平间距可调。