可调式提升炉管置放空间的置放柜的制作方法

本实用新型涉及一种工艺储存炉管的设备，尤指一种可调式提升炉管置放空间的置放柜。

背景技术：

一般来说，在半导体工艺或称集成电路工艺中，如炉管进管装置用以加热晶圆，来达成所想要的反应，许多步骤都必须在高温环境下进行，例如用来掺杂(doping)离子的热扩散(diffusion)工艺、成长氧化层(SiO₂)的热氧化工艺，以及用来消除缺陷(defects)的退火(annealing)工艺，上述热处理方法，一般都将硅芯片置于晶舟而送进高温炉管反应，待反应完成取出。其中，无论是工艺前或完成工艺后，该炉管经清洗设备清洗，而必须存放在特定的柜子里以利再次使用，因此有专门储存炉管的设备，故请参阅图1所示，公开了一种炉管的置放架，其主要为一盛放架10，该盛放架10可依序排列竖立盛放有四个炉管11，其中，储存该炉管11的设备(箱体)一定要具有风机过滤设备，以过滤无尘室内的空气，使得储存的该炉管11保持最佳的洁净状态。

此一技术方案中，储存该炉管11的设备依该盛放架10只能置放四个该炉管11，除了该盛放架10的设置形式产生占据空间较大的问题，由于受到该盛放架10盛放数量的限制，在设置多台的该炉管11的存放设备将不符合经济的效益。

此外，该盛放架10无法存放不同尺寸的炉管11，其无法随时改变置放炉管11的空间，除非重新设计较大或较小尺寸的盛放架10。

因此，如何针对以上所论述的缺点，对存放该炉管11容量不足的问题以及存放的不便利性加以改进，即为本案发明人所欲解决的技术困难点所在。

技术实现要素：

有鉴于现有技术的缺点，因此本实用新型的目的在于发展一种半导体晶圆在加热工艺中所使用的储存炉管的设备，尤指一种可调式提升炉管置放空间的置放柜。

为了达成以上的目的，本实用新型提供一种可调式提升炉管置放空间的置放柜，其包括：一储存箱体，外围一侧面连通设有至少一开口，该储存箱体内设有至少一储存座，该储存座上设有一转轴和一第一圆盘，该转轴轴设于该储存箱体的上下表面，该转轴穿设固定该第一圆盘，该转轴上的该第一圆盘的上方以环绕形式均匀分布延伸设有多个杆体。

其中，该第一圆盘上与该转轴之间垂直延伸设有多个在该第一圆盘上均匀排列的隔挡部，且该储存箱体内下方表面设有多个第二通气孔，该储存箱体下方延伸设有至少一第二容置空间，该第二容置空间与这些第二通气孔相连通，该第二容置空间活动结合一抽屉，该抽屉内两相对侧面分别排列设有高低对称的两个嵌合槽，其中一相对侧面的两个嵌合槽活动嵌合一第一嵌合片，另一相对侧面的两个嵌合槽活动嵌合一第二嵌合片，该第一嵌合片上方设有一第一凹陷部，该第二嵌合片上方设有一第二凹陷部，该第一凹陷部和该第二凹陷部高低对称设置。并且，每两个隔挡部之间的该第一圆盘之上设有多个防刮部，这些防刮部为条状，且由聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethene , PTFE)材质制成；以及每一杆体上均设有两个固定底座，每一杆体上的该两个固定底座均分别接设一橡胶管，且该第一圆盘上的下表面且相对应于每一隔挡部分别设有一固定部，该储存箱体内下方表面设有一被固定部，该被固定部活动固设于每一固定部上。并且，该开口周围轴设一门板组，该门板组设有两个相互对称开合的门板，该储存箱体另一侧面上连通固设至少一风机过滤装置，该储存箱体垂直于该侧面的内部表面平行活动设有至少一拉板，该拉板一侧面上设有至少一组固定座，该拉板下方周缘延伸设有一底座，该组固定座上设有五个固定模块，每一固定模块设有一第一凹槽和一固定杆，该第一凹槽一侧延伸设有一第一容置空间，该固定杆一端轴设于该第一容置空间上，且该第一圆盘上设有多个第一通气孔，每一杆体与转轴之间均以螺柱和螺孔相互螺接。

本实用新型主要在该储存箱体内设有至少一储存座，该储存座设有该转轴和第一圆盘，该转轴轴设于该储存箱体的上下表面，该转轴穿设固定该第一圆盘，该转轴上的该第一圆盘的上方以环绕形式均匀分布延伸设有这些杆体，以可使本实用新型达到在特定的空间范围内提升炉管置放的数量(空间)，更可达到随时可调，提供不同尺寸大小的炉管予以置放，及随时改变存放炉管的数量的效果。

附图说明

图1：现有技术的炉管的置放架的俯视示意图；

图2：本实用新型较佳实施例的立体分解结构示意图；

图3：本实用新型较佳实施例的立体组合结构侧视示意图；

图4：本实用新型较佳实施例的储存座储存数量为三个的立体实施示意图；

图5：本实用新型较佳实施例的储存座储存数量为三个的俯视实施示意图；

图6：本实用新型较佳实施例的拉板立体实施示意图；

图7：本实用新型较佳实施例的拉板的固定座立体实施示意图；

图8：本实用新型较佳实施例的第一圆盘的固定部与被固定部的动作前俯视实施示意图；

图9：本实用新型较佳实施例的第一圆盘的固定部与被固定部的动作后俯视实施示意图；

图10：本实用新型较佳实施例的抽屉立体实施示意图；

图11：本实用新型较佳实施例的储存座储存数量为四个的立体实施示意图；

图12本实用新型较佳实施例的储存座储存数量为四个的俯视实施示意图；

图13本实用新型较佳实施例的随时改变这些杆体的安装数量，予以随时改变炉管的存放尺寸及存放数量的俯视实施示意图。

附图标记说明

（现有技术）

10 盛放架 11 炉管

（本实用新型）

2 储存箱体 2A 侧面

2B 侧面 2C 表面

20 开口 21 门板组

210 门板 22 风机过滤装置

23 拉板 231 固定座

2310 固定模块 2310a 第一容置空间

2310A 第一凹槽 2310B 固定杆

232 底座 233 滑轨装置

24 储存座 241 转轴

242 第一圆盘 242A 第一通气孔

242B 固定部 243 杆体

243A 固定底座 244 隔挡部

245 防刮部 25 第二通气孔

26 第二容置空间 27 抽屉

271 嵌合槽 28 第一嵌合片

281 第一凹陷部 29 第二嵌合片

291 第二凹陷部 3 橡胶管

4 被固定部 40 插销

5 炉管 6 炉管

100 照明灯 200 螺柱

300 螺孔。

具体实施方式

为了使贵审查员能清楚了解本实用新型的内容，以下列实施例搭配附图及符号加以说明，敬请参阅之。

请参阅图2、图3、图4、图5和图7所示，本实用新型提供一种可调式提升炉管置放空间的置放柜，其包括：一储存箱体2。

该储存箱体2外围一侧面2A连通设有两个开口20，该两个开口20均为方形，该两个开口20周围分别轴设一门板组21，该两个门板组21分别设有两个相互对称开合的门板210，该储存箱体2另一侧面2B上连通固设四个风机过滤装置22，该储存箱体2垂直于该侧面2A的内部表面2C平行活动设有两个拉板23，该两个拉板23分别一侧面上设有三组固定座231，该两个拉板23分别下方周缘延伸设有一底座232，该拉板23上的该底座232与该三组固定座231位置相对应，每一组固定座231上设有五个固定模块2310，每一固定模块2310设有一第一凹槽2310A和一固定杆2310B，该第一凹槽2310A一侧延伸设有一第一容置空间2310a，该固定杆2310B一端轴设于该第一容置空间2310a上，因此该固定杆2310B可在该第一容置空间2310a的范围作转动，而原则上为180度，在本实施例中，该固定杆2310B可转动对应于该第一凹槽2310A上方而形成封闭的环，使得该第一凹槽2310A和该固定杆2310B之间可容置扣合一尺寸较小的炉管6，该储存箱体2内部可装设照明灯100，以供该储存箱体2内的照明使用。

该储存箱体2内设有两个储存座24，每一储存座24上设有一转轴241和一第一圆盘242，该转轴241轴设于该储存箱体2的上下表面，该转轴241穿设固定该第一圆盘242，该转轴241上的该第一圆盘242的上方以环绕形式均匀分布延伸设有多个杆体243，每一杆体243上均设有两个固定底座243A，每一杆体243上的该两个固定底座243A均分别接设一橡胶管3。

在本实施例中，该第一圆盘242应靠近该储存箱体2内底部为佳，该第一圆盘242上设有多个第一通气孔242A，该第一圆盘242上与该转轴241之间垂直延伸设有三个在该第一圆盘242上均匀排列的隔挡部244，每两个隔挡部244之间的该第一圆盘242之上设有多个防刮部245，这些防刮部245为条状，且由聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethene , PTFE)材质，俗称铁氟龙制成。

因此，该第一圆盘242之上且每两个隔挡部244之间可垂直置放一尺寸较大的炉管5，并且每一炉管5同时置放于每两个杆体243之间。在本实施例中，每两个隔挡部244之间原则上设计成12寸晶圆片的大小容置的空间而对应于该尺寸较大的炉管5，该炉管5如缩小尺寸而所对应承载的晶圆片8寸和6寸也可适用，每一尺寸较大的炉管5置放于该第一圆盘242上时，每一杆体243可作为每一尺寸较大的炉管5的靠背使用，增加稳定性，且这些防刮部245使用聚四氟乙烯材质制成，材质较软，可防止每一尺寸较大的炉管5置放时底部刮伤，因该炉管5是贵重的石英材质，以防止其损坏。

该第一圆盘242上的下表面且相对应于每一隔挡部244分别设有一固定部242B，该储存箱体2内下方表面设有一被固定部4，当该第一圆盘242通过该转轴241旋转时，该被固定部4可活动固设于每一固定部242B上。

请继续参阅图2、图3和图10所示，其中，该储存箱体2内下方表面设有多个第二通气孔25，该储存箱体2下方延伸设有五个第二容置空间26，该五个第二容置空间26与这些第二通气孔25相连通，该五个第二容置空间26分别活动结合一抽屉27，每一抽屉27内两相对侧面分别排列设有高低对称的两个嵌合槽271，其中一相对侧面的两个嵌合槽271活动嵌合一第一嵌合片28，另一相对侧面的两个嵌合槽271活动嵌合一第二嵌合片29，该第一嵌合片28上方设有一第一凹陷部281，该第二嵌合片29上方设有一第二凹陷部291，该第一凹陷部281和该第二凹陷部291高低对称设置。因此该第一凹陷部281和该第二凹陷部291之上可盛放该炉管5，或将该第一嵌合片28和该第二嵌合片29从该抽屉27内取出，即可在该每一抽屉27内放置杂物使用。

请继续参阅图6所示，其中，该拉板23利用相对的滑轨装置233，使得该拉板23可以拉出，每一尺寸较小的炉管6受到该底座232的支撑，使用者只需要操作每一组固定座231，即可置放或拾取该炉管6。

请继续参阅图8与图9所示，其中，当该第一圆盘242上置放每一炉管5时，且每一炉管5都分别由一橡胶管3所辅助固定，该第一圆盘242下方设有360度均匀设置的三个固定部242B。因此使用者如要取放时，除了用手动的方式借由该转轴241而旋转该第一圆盘242，而且可利用其中一个固定部242B对应活动固定于该被固定部4上，该被固定部4具有一插销40，可伸出与该固定部242B活动固设，可使得该第一圆盘242稳固而不旋转，再取下该橡胶管3而取放该炉管5。

请再参阅图11和图12所示，其中，该第一圆盘242上的该隔挡部244为四个，以及该杆体243也可在相对应的位置设置四个。因此，该第一圆盘242上即可对应的盛放四个该炉管5，并且，每一杆体243以对应作为每一个炉管5的靠背，在本实施例中，更加提升其炉管的存放量。

请继续参阅图2、图3、图4、图5、图11和图12所示，其中，本实用新型主要采用在该储存箱体2内设有至少一储存座24(本实施例为两个)，该储存座24上设有该转轴241和第一圆盘242，该转轴241轴设于该储存箱体2的上下表面，该转轴241穿设固定该第一圆盘242，该转轴241上的该第一圆盘242的上方以环绕形式均匀分布延伸设有这些杆体243，以可使本实用新型达到在特定的空间范围内提升炉管置放的数量(空间)，予以达成功效。

此外，请再参阅图13所示，其中，每一杆体243与转轴241之间均以螺柱200和螺孔300相互螺接。故在该转轴241的周围上的每一杆体243之间可调整其安装的数量及间隔距离，例如这些杆体243安装数量为三个(附图中实线部分)，如果加上附图中虚线部分的这些杆体243则可安装成六个的数量，且不以此为限制。因此，更可达成随时可调整安装这些杆体243的效果，供在第一圆盘242上使不同尺寸大小的炉管予以置放，及随时改变存放炉管的数量。意为在第一圆盘242的面积大小不变的情况下，这些杆体243安装数量为三个时，即可在第一圆盘242上置放尺寸较大的炉管，反之，这些杆体243安装数量为六个时，即可在第一圆盘242上以原来的空间大小置放尺寸较小且数量较多的炉管，不仅可提升炉管置放的数量(空间)，更可随时改变其炉管置放的尺寸大小，依此类推，予以达成功效。

以上所论述，仅为本实用新型较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型的专利保护范围；故在不脱离本实用新型的精神与范畴内所作的等效形状、构造或组合的变换，都应涵盖于本实用新型的权利要求书内。