1.一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置，其特征在于，包括基板，所述基板上设有六英寸吸附区(1)、位于六英寸吸附区(1)内的四英寸吸附区(2)、及位于四英寸吸附区(2)内的两英寸吸附区(3)；
所述两英寸吸附区(3)内包括若干两英寸吸附孔(6)，所述两英寸吸附孔(6)的底部接有两英寸真空管(7)，两英寸真空管(7)上设有两英寸真空阀(8)；
所述四英寸吸附区(2)内包括若干四英寸吸附孔(5)及所述的两英寸吸附孔(6)，所述四英寸吸附孔(5)的底部接有四英寸真空管(9)，四英寸真空管(9)上设有四英寸真空阀(10)；
所述六英寸吸附区(1)内包括若干六英寸吸附孔(4)、及所述的两英寸吸附孔(6)和四英寸吸附孔(5)，所述六英寸吸附孔(4)的底部接有六英寸真空管(11)，所述六英寸真空管(11)上设有六英寸真空阀(12)。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置，其特征在于，所述两英寸吸附孔(6)、四英寸吸附孔(5)和六英寸吸附孔(4)的孔径相同，均各吸附孔分别规则排列在基板的表面。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置，其特征在于，所述六英寸吸附区(1)、四英寸吸附区(2)和两英寸吸附区(3)分别为圆形，且各吸附区分别以基板的中心为圆形。
4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置，其特征在于，所述两英寸真空管(7)、四英寸真空管(9)和六英寸真空管(11)各自分别与真空泵连接。