技术总结
本实用新型公开一种蓝宝石晶圆的真空分区吸附装置，包括基板，基板上设有六英寸吸附区、四英寸吸附区、两英寸吸附区；两英寸吸附区内包括若干两英寸吸附孔，两英寸吸附孔的底部接有两英寸真空管，两英寸真空管上设有两英寸真空阀；四英寸吸附区内包括若干四英寸吸附孔及所述的两英寸吸附孔，四英寸吸附孔的底部接有四英寸真空管，四英寸真空管上设有四英寸真空阀；六英寸吸附区内包括若干六英寸吸附孔、及所述的两英寸吸附孔和四英寸吸附孔，六英寸吸附孔的底部接有六英寸真空管，六英寸真空管上设有六英寸真空阀。该真空分区吸附装置可实现两英寸、四英寸和六英寸晶圆的真空吸附，不需要在生产过程中切换不同尺寸的真空基板，有效节约切线时间。
技术研发人员：丁建峰;刘亚坤;王祥;周雪松;涂亮亮;魏明德
受保护的技术使用者：徐州同鑫光电科技股份有限公司
文档号码：201720812815
技术研发日：2017.07.06
技术公布日：2018.02.27