一种半导体硅棒全自动对中检测机构的制作方法

文档序号:14261637阅读:来源:国知局
一种半导体硅棒全自动对中检测机构的制作方法

技术特征:

1.一种半导体硅棒全自动对中检测机构,其特征在于:包括安装支架,所述安装支架上相对称的安装有一对电缸,所述一对电缸的滑块可分别在安装支架上相对的上下移动,所述电缸与伺服电机连接,所述电缸的滑块上安装气缸安装支架,气缸安装支架上装有气缸,所述气缸伸出端装有接触式传感器,气缸带动接触式传感器做来回伸缩运动。

2.根据权利要求1所述的一种半导体硅棒全自动对中检测机构,其特征在于:所述的气缸伸出端上安装有用于安装接触式传感器的传感器安装支架。

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