一种多功能晶圆片传片装置的制作方法

本实用新型涉及半导体领域，特别涉及一种多功能晶圆片传片装置。

背景技术：

在半导体生产中，由于工艺要求不同，在同一条产线中可能存在不同尺寸的晶圆片同时生产，诸如：直径150mm、直径156mm、直径160mm等等。所有晶圆片的主要承载器具是晶圆片盒，晶圆片盒有多种材质，诸如：PFA、PEEK、金属等，虽然适用同晶圆尺寸的晶圆片盒其插槽尺寸统一，但由于材质以及供应商的差别，其外观规格——例如外宽、外高等不尽相同。由于设备生产、工艺流程以及运输保存等的需要，常需要将晶圆片从第一种规格的片盒转入第二种规格的片盒，通常使用的工具为真空吸笔。但由于吸笔作业为纯手工作业，存在掉片和刮伤的风险，且效率极低。因此，如何能顺利的完成不同规格片盒之间的传片已成为急需解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种多功能晶圆片传片装置，克服了现有技术所存在的不足之处，能安全、高效的在不同规格的晶圆片盒之间进行批量性传片。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：

一种多功能晶圆片传片装置，包括底座、两个固定组件以及至少一推片组件；所述两个固定组件于底座上前后相对设置并分别用于固定晶圆片盒，其中各固定组件分别包括用于控制相应晶圆片盒前后位置的第一固定机构和用于控制相应晶圆片盒左右位置的第二固定机构，所述两个固定组件中的至少一个还包括用于控制相应晶圆片盒上下位置的第三固定机构；所述推片组件设于底座上以用于将一晶圆片盒内的晶圆片推入另一晶圆片盒之内。

优选的，所述第一固定机构包括左右相对设置的两组第一导轨和卡槽，所述第一导轨沿前后方向延伸，所述卡槽滑动设于第一导轨上；所述第一固定机构还包括用于带动卡槽于第一导轨上前后运动的第一手柄。

优选的，所述第二固定机构包括左右相对设置的两组第二导轨和卡块，所述第二导轨设于相应固定组件的第一导轨外侧并沿左右方向延伸，所述卡块滑动设于第二导轨上；所述第二固定机构还包括用于带动卡块于第二导轨上左右运动的第二手柄。

优选的，所述第三固定机构包括升降平台和用于带动升降平台上下运动的第三手柄，相应固定组件的第一导轨和第二导轨设于所述升降平台上。

优选的，所述推片组件包括推杆和抵推件，所述推杆可前后移动的设于一固定组件背离另一固定组件的一侧，所述抵推件设于推杆末端并与晶圆片盒相配合。

优选的，包括两个所述推片组件，分别设于所述两个固定组件外侧并与所述两个固定组件一一对应。

本实用新型的有益效果是：两待传片晶圆片盒置于固定组件上，通过三个维度的固定机构调整晶圆片盒上下、左右、前后的位置以使两晶圆片盒的插槽对齐，通过推片组件可将一晶圆片盒的晶圆片批量性的推入另一晶圆片盒之中，可实现相同晶圆尺寸不同材质片盒之间的晶圆片的顺利传片，可进行多种晶圆尺寸的晶圆片的顺利传片，使用方便，效率高。

附图说明

图1是本实用新型的侧视图；

图2是本实用新型另一方向的侧视图；

图3是本实用新型的俯视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。文中所述前后、左右、上下均为表示空间上的相对位置关系，并不以此为限。

参考图1至图3，一种多功能晶圆片传片装置包括底座1、两个固定组件2、3以及至少一推片组件4。所述两个固定组件2、3于底座1上前后相对设置并分别用于固定晶圆片盒。通过两个固定组件2、3调整两个晶圆片盒的相对位置以使其插槽一一对齐，所述推片组件4设于底座1上以用于将一晶圆片盒内的晶圆片推入另一晶圆片盒之内。

为便于说明，以下两个固定组件命名为前固定组件2以及后固定组件3。其中前固定组件2包括用于控制相应晶圆片盒前后位置的第一固定机构、用于控制相应晶圆片盒左右位置的第二固定机构和用于控制相应晶圆片盒上下位置的第三固定机构。所述第一固定机构包括左右相对设置的两组第一导轨21和卡槽22，所述第一导轨21沿前后方向延伸，卡槽22滑动设于对应第一导轨21上；所述第一固定机构还包括用于带动卡槽22于第一导轨21上前后运动的第一手柄23。所述第二固定机构包括左右相对设置的两组第二导轨24和卡块25，所述第二导轨24设于第一导轨21外侧并沿左右方向延伸，所述卡块25滑动设于相应第二导轨24上；所述第二固定机构还包括用于带动卡块25于第二导轨24上左右运动的第二手柄26。所述第三固定机构包括升降平台27和用于带动升降平台27相对于底座1上下运动的第三手柄28，第一导轨21和第二导轨24设于所述升降平台27上。

习知的晶圆片盒结构，以其用于取放晶圆片的开口面及与之相对的半开口面作为左右面，则前后面内壁设有沿上下方向排布并用于形成插槽的分隔片，底面外壁设有沿前后方向延伸的凸筋，该凸筋可作为固定杆。晶圆片置于插槽内，则多个晶圆片沿上下方向平行间隔排布。将需要传输的一晶圆片盒放于前固定组件2上，其固定杆配合于两个卡槽22之内，然后旋转第一手柄23以将该晶圆片盒调整至最合适的前后位置；再旋转第二手柄26，将卡块25调整至贴近晶圆片盒，间距约1mm；再旋转第三手柄28调整升降平台27的上下高度。通过上述设置，可以实现晶圆片盒上下、前后、左右三个方向的位置调整，以及通过卡槽22和卡块25来实现固定，其中卡块25可以根据晶圆片盒的宽度来进行调整，适用于各种宽度的晶圆片盒。

后固定组件3包括用于控制相应晶圆片盒前后位置的第一固定机构和用于控制相应晶圆片盒左右位置的第二固定机构，第一固定机构同样包括第一导轨31、卡槽32和第一手柄33，第二固定机构同样包括第二导轨34、卡块35和第二手柄36，其具体结构与上述第一固定机构和第二固定机构相同，不加以赘述。后固定组件3可包括第三固定机构，也可不包括第三固定机构，根据实际需求进行设置。将另一晶圆片盒设于后固定组件3上并同样进行位置调整，直至两晶圆片盒最下或最上的插槽对齐，即实现了精准的定位和固定。

所述推片组件4包括推杆41和抵推件42，所述推杆41可前后移动的设于一固定组件背离另一固定组件的一侧，所述抵推件41设于推杆末端并与晶圆片盒相配合。两晶圆片盒的开口面相对设置，抵推件与半开口面相配合，伸入其开口中以将晶圆片推入另一晶圆片盒，以完成批量性传片。进一步，两个固定组件外侧分别设有推片组件4以便于实现双向往返传片。

其中所述手柄带动卡槽、卡块和升降平台进行运动(可往复的直线运动)以及推杆的前后移动可通过习知之技术实现，例如链条、齿轮、滚珠丝杠及电动控制等等。

上述实施例仅用来进一步说明本实用新型的一种多功能晶圆片传片装置，但本实用新型并不局限于实施例，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均落入本实用新型技术方案的保护范围内。