一种单向浪涌增强型的瞬态电压抑制二极管的制作方法

文档序号:14965609发布日期:2018-07-18 02:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单向浪涌增强型的瞬态电压抑制二极管,其特征在于:包括P型材料片,所述P型材料片有正面N+区,所述P型材料片的背面有背面N+型深结区和背面P+区的深度,所述背面N+型深结区的深度大于背面P+区的深度,所述P型材料片的表面形成有第氧化层并覆盖部分正面N+区反型层,所述正面N+区的表面刻蚀有金属化电极,所述金属化电极的宽度范围延伸至氧化层,背面整个面全部金属化。

2.根据权利要求1所述的一种单向浪涌增强型的瞬态电压抑制二极管,其特征在于:所述P型材料片衬底的电阻率为0.01~0.4Ω·cm。

3.根据权利要求1所述的一种单向浪涌增强型的瞬态电压抑制二极管,其特征在于:所述正面N+区的结深在15-25um,所述背面N+型深结区的结深在20-30um,背面P+区的结深在10-15um。

4.根据权利要求1所述的一种单向浪涌增强型的瞬态电压抑制二极管,其特征在于:所述金属化电极为AL-Ti-Ni-Ag合金。

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