双控太赫兹波滤波器的制作方法

文档序号:14882828发布日期:2018-07-07 10:15阅读:236来源:国知局

本实用新型涉及滤波器,尤其涉及一种双控太赫兹波滤波器。



背景技术:

太赫兹技术是二十世纪80年代末发展起来的一种新技术。太赫兹波独特的频率范围(位于微波频段和光频段之间)覆盖了多数大分子物质的分子振动和转动光谱,因此多数大分子物质在太赫兹频段无论其吸收谱、反射谱还是发射谱都具有明显的指纹谱特性,这一点是微波所不具备的。太赫兹脉冲光源与传统光源相比具有很多独特的性质,如:瞬态性、低能性等,这些特点决定了太赫兹技术在工业应用领域、医学领域、通信领域以及生物等领域中有相当重要的应用前景。因此太赫兹技术以及太赫兹器件的研究逐渐成为世界范围内广泛研究的热点。

太赫兹应用技术中必须有不同功能器件的配套使用,目前太赫兹吸收器,滤波器等相关器件的研究成果已经比较广泛,它们促进了太赫兹技术的发展。但是,传统的滤波器存在功能及控制方式单一的不足,而多功能及多控制的太赫兹波滤波器不仅能减少成本、提高集成度、还可以拥有灵活的控制方式。针对以上缺点,本实用新型设计了一种结构简单紧凑、多种方法控制,控制效率高等优点的太赫兹波滤波器。



技术实现要素:

本实用新型提供一种双控太赫兹波滤波器,技术方案如下:

双控太赫兹波滤波器包括二氧化钒层、硅层、砷化镓层、金属谐振层;二氧化钒层位于最底层,二氧化钒层的上层为硅层,硅层的上层为砷化镓层,砷化镓层的上层为金属谐振层;金属谐振层的材料为金,厚度为0.1μm并且由上直角C 形、左一开口矩形、左二矩形、左三开口矩形、左四开口矩形、左五开口矩形、左六矩形、左七开口矩形、下直角C形、中间矩形、右一开口矩形、右二矩形、右三开口矩形、右四开口矩形、右五开口矩形、右六开口矩形、右七开口矩形按逆时针方向依次连接而成;其中,中间矩形分别与上直角C形和下直角C形相连接并且位于滤波器的纵向中心轴上。

所述二氧化钒层边长为118μm,厚度为0.1μm;所述的硅层和砷化镓层的边长为118μm,厚度为5μm;所述的上直角C形和下直角C形的长臂为24μm,短臂为15μm;所述的左一开口矩形、左三开口矩形、左五开口矩形、左七开口矩形、右一开口矩形、右三开口矩形、右五开口矩形、右七开口矩形的形状大小形同,长为35μm,宽为12μm;所述的左二矩形、左六矩形、右二矩形、右六开口矩形的形状大小形同,长为6μm,宽为3μm;所述的中间矩形的长为88μm,短臂长为3μm;所述的左四开口矩形、右四开口矩形的几何形状相同,长为6μm,宽为3μm,开口大小为2μm。

本实用新型具有结构简单紧凑,多种方法控制,控制效率高等优点。

附图说明

图1是双控太赫兹波滤波器的三维示意图;

图2是双控太赫兹波滤波器的主示图;

图3是双控太赫兹波滤波器的金属谐振层示意图;

图4是双控太赫兹波滤波器在不同光强下的性能曲线图;

图5是双控太赫兹波滤波器在不同温度下的性能曲线图。

具体实施方式

如图1~图3所示,它包括二氧化钒层1、硅层2、砷化镓层3、金属谐振层4;二氧化钒层1位于最底层,二氧化钒层1的上层为硅层2,硅层2的上层为砷化镓层3,砷化镓层3的上层为金属谐振层4;金属谐振层4的材料为金,厚度为 0.1μm并且由上直角C形5、左一开口矩形6、左二矩形7、左三开口矩形8、左四开口矩形9、左五开口矩形10、左六矩形11、左七开口矩形12、下直角C形 13、中间矩形14、右一开口矩形15、右二矩形16、右三开口矩形17、右四开口矩形18、右五开口矩形19、右六开口矩形20、右七开口矩形21按逆时针方向依次连接而成;其中,中间矩形14分别与上直角C形5和下直角C形13相连接并且位于滤波器的纵向中心轴上。

所述二氧化钒层边长为118μm,厚度为0.1μm;硅层和砷化镓层的边长为 118μm,厚度为5μm;上直角C形和下直角C形的长臂为24μm,短臂为15μm;左一开口矩形、左三开口矩形、左五开口矩形、左七开口矩形、右一开口矩形、右三开口矩形、右五开口矩形、右七开口矩形的形状大小形同,长为35μm,宽为12μm;左二矩形、左六矩形、右二矩形、右六开口矩形的形状大小形同,长为6μm,宽为3μm;中间矩形的长为88μm,短臂长为3μm;左四开口矩形、右四开口矩形的几何形状相同,长为6μm,宽为3μm,开口大小为2μm。

实施例1

双控太赫兹波滤波器:

本实施例中,应用于太赫兹波的温控开关的结构和各部件形状如上所述,因此不再赘述。但各部件的具体参数如下:二氧化钒层边长为118μm,厚度为0.1μm;硅层和砷化镓层的边长为118μm,厚度为5μm;上直角C形和下直角C形的长臂为24μm,短臂为15μm;左一开口矩形、左三开口矩形、左五开口矩形、左七开口矩形、右一开口矩形、右三开口矩形、右五开口矩形、右七开口矩形的形状大小形同,长为35μm,宽为12μm;左二矩形、左六矩形、右二矩形、右六开口矩形的形状大小形同,长为6μm,宽为3μm;中间矩形的长为88μm,短臂长为3μm;左四开口矩形、右四开口矩形的几何形状相同,长为6μm,宽为3μm,开口大小为2μm。在太赫兹波垂直照射下,经过CST软件仿真得到的传输效率如图4和图5所示。图4是双控太赫兹波滤波器在不同光强下的性能曲线图,图 5是双控太赫兹波滤波器在不同温度下的性能曲线图。由图4可知,当温度不变时,增加光的强度时,太赫兹波传输效率的最高点发生了蓝移现象,即能通过该滤波器的太赫兹波的频率增高了。由图5可知,当光强不变时,使温度增高,太赫兹波传输效率曲线发生了蓝移现象,能通过该滤波器的太赫兹波的频率点由低频点移动到了高频点。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1