硅片烘干炉的硅片传送装置的制作方法

技术特征：

1.硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于：该硅片传送装置基于链条传动构建，具有链条（1）、链轮（2）及组装在链条（1）上并跟随链条移动的载具（3），载具（3）上设有实现硅片侧立置放的U形槽（34），载具（3）满足硅片的正面和背面受热烘干；链轮（2）啮合链条（1），链轮（2）安装在转动轴（4）上。

2.根据权利要求1所述的硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于：所述载具（3）具有支撑立杆（31），该支撑立杆（31）的下端固定在链条（1）上；支撑立杆（31）的上端支起底座（32），底座（32）的上侧设有上凸的护杆（33），护杆（33）与底座（32）一起构造U形槽（34），底座（32）具有镂空孔（321）。

3.根据权利要求2所述的硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于：所述链条（1）上依节距分布载具（3），链条（1）的传动节上设有安装平台（11），支撑立杆（31）固定在安装平台（11）上，支撑立杆（31）与底座（32）构成T形。

4.根据权利要求1或2或3所述的硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于：所述链条（1）的左右侧设有导轮（12）。

5.根据权利要求2或3所述的硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于：所述底座（32）构成U形槽（34）内底的上侧面相对水平方向做倾斜设计，倾斜角为锐角。

6.根据权利要求1所述的硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于：所述转动轴（4）上并列安装多个链轮（2），每个链轮（2）啮合一条链条（1），致使硅片传送装置具有多条链条（1）同步载料传送，且每条链条（1）上的载具（3）独立载料。