技术总结
本实用新型公开了一种吊装式谐振腔装置，包括仅上端面成开口状的谐振腔、位于谐振腔上方的上盖板、用于控制谐振腔上下移动的驱动结构，所述上盖板通过吊装结构吊装在真空室的内顶部，所述上盖板的下表面上设置有用于对谐振腔移动限位的限位装置。本方案谐振腔采用上端面开口结构，与上盖板之间采用分体式结构，通过驱动结构施加压力的方式使谐振腔腔体和一体化盖板紧密结合，整个谐振腔结构不需要螺钉固定，既可以使谐振腔腔壁降低，又可以避免螺钉滑丝；整个结构省去了螺钉的使用降低了谐振腔的壁厚，降低了谐振腔加工难度，合理分配重量，避免因为自重引起的滑丝等不良现象，提高了测试结构重复使用次数，降低了单次测试均摊的成本。
技术研发人员：逄立飞;邓建华;董宇亮;王凯
受保护的技术使用者：四川中测微格科技有限公司
文档号码：201721552921
技术研发日：2017.11.20
技术公布日：2018.05.15