技术总结
一种高效的蚀刻设备，包括底板、位于所述底板上方的喷药装置、位于所述喷药装置左侧的支架装置、设置于所述支架装置上的电机装置、位于所述底板上方的支撑板装置、设置于所述底板上的旋转板装置、设置于所述支架装置上的喷水装置。本实用新型能够将喷过后的化学药液及水充分的分开回收，进而可以减少资源的浪费，并且可以防止对环境造成污染，操作简单，自动化程度高，使用方便。
技术研发人员：张进元
受保护的技术使用者：昆山市苏元电子集团有限公司
技术研发日：2017.12.05
技术公布日：2018.07.10