量测机台中机械手臂的硅片传送结构的制作方法

本实用新型属于半导体集成电路制造领域，具体涉及一种KT量测机台中机械手臂的硅片传送结构。

背景技术：

随着半导体集成电路的技术发展，现代工业生产和日常生活中都离不开半导体器件，在芯片的量产过程中都需要用到光学膜厚量测仪器，如KLA-Tencor公司下的Aleris机台，这种机台拥有先进的功能、较低的运行成本、快速的量测效率，因此被广泛运用。

这种量测机台具有自动的机械手臂1，机械手臂1通过真空吸附的方式对硅片进行传送。如图1所示，三个吸盘2不可拆卸地固定安装在机械手臂1上，吸盘2接触硅片后通过真空吸附吸住硅片，然后将硅片传送至指定位置。然而，在长期的生产过程中，硅片背面与吸盘2表面长时间地发生接触摩擦，这样就将吸盘2的表面磨平了，进而造成表面吸附效应，影响真空的释放，机台传片时会发生拖片现象，导致机台故障。

在发生上述情况后，由于吸盘2与机械手臂1是一体的，所以目前只能整体更换机械手臂1来解决。但是，更换机械手臂的复机时间一般需要八小时，其中需要进行整机传送位置校准、机台内部温度安定、传片测试、全套监控等步骤，而且每个机械手臂的更换费用昂贵，导致严重影响生产效率，增加成本。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是提供一种量测机台中机械手臂的硅片传送结构，可以解决因吸盘异常而整体更换机械手臂的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的量测机台中机械手臂的硅片传送结构，所述机械手臂上可拆卸地安装有若干吸盘。

其中一种结构是，所述机械手臂和吸盘通过螺纹连接。进一步的，所述机械手臂具有内螺纹孔，所述吸盘具有与内螺纹孔相对应的外螺纹。

其中另一种结构是，所述机械手臂和吸盘通过键连接。

进一步的，所述机械手臂和吸盘通过楔键连接。或者，所述机械手臂和吸盘通过花键连接。优选的，所述机械手臂具有键槽，所述吸盘具有与键槽相配合的键。

本实用新型将吸盘和机械手臂一体式的结构改变为分体式结构，可以方便快捷地安装拆卸吸盘，当吸盘发生异常情况时，只需拆下损坏的吸盘更换新的即可，这样就不需要整体更换机械手臂，进而不需要对整机传送位置进行校准，可以有效地缩短复机时间并降低更换部件的成本。

附图说明

图1为现有的硅片传送结构的示意图；

图2为本实用新型的硅片传送结构中机械手臂的主视图；

图3为本实用新型的硅片传送结构中机械手臂的侧视图；

图4为本实用新型的硅片传送结构中吸盘的示意图。

其中附图标记说明如下：

1为机械手臂；2为吸盘；3为内螺纹孔；4为外螺纹；5为真空管路。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

本实用新型的量测机台中机械手臂的硅片传送结构，所述机械手臂1上可拆卸地安装有若干吸盘2。

第一实施例

本实施例中，如图2至图4所示，所述机械手臂1和吸盘2通过螺纹连接。如图2、图3所示，所述机械手臂1具有内螺纹孔3，所述吸盘2具有与内螺纹孔3相对应的外螺纹4，如图4所示。

机械手臂1具有横向的真空管路5和纵向的真空管路5，其中纵向的真空管路5位于内螺纹孔3的轴线上，吸盘2的轴线上开有真空管路5，该真空管路与机械手臂1的纵向真空管路相连通。

第二实施例

本实施例中，所述机械手臂1和吸盘2通过键连接。

其中，键连接可以为楔键连接，也可以为花键连接。通常，键槽设在机械手臂1内，而与键槽相配合的键则设在吸盘2上。

虽然本实施例以楔键连接或花键连接为例进行说明，但是本实用新型并不局限于此，本领域技术人员可以根据上述实施例举一反三，故在此不再赘述。

本实用新型将吸盘和机械手臂一体式的结构改变为分体式结构，可以方便快捷地安装拆卸吸盘，当吸盘发生异常情况时，只需拆下损坏的吸盘更换新的即可，这样就不需要整体更换机械手臂，进而不需要对整机传送位置进行校准，可以有效地缩短复机时间并降低更换部件的成本。

以上通过具体实施例对本实用新型进行了详细的说明，该实施例仅仅是本实用新型的较佳实施例，本实用新型并不局限于上述实施方式。在不脱离本实用新型原理的情况下，本领域的技术人员对吸盘与机械手臂的可拆卸连接方式、键连接的形式等做出的等效置换和改进，均应视为在本实用新型所保护的技术范畴内。