技术特征：
技术总结
在此提供用于分析和检测来自半导体制造部件的液体中的纳米颗粒的方法和设备。在某些实施方式中，确定基板处理腔室部件清洁溶液中的纳米颗粒的颗粒数、颗粒尺寸及ζ电位的方法包括：(a)以来自基板处理腔室部件清洁槽内的清洁溶液填充样本槽，基板处理腔室部件清洁槽装有半导体处理腔室部件；(b)将来自激光器的光导向该样本槽，其中该清洁溶液中的纳米颗粒散射来自该激光器的光；及(c)经由位在该样本槽附近的一个或多个检测器来检测散射光以确定该清洁溶液中的纳米颗粒的ζ电位、颗粒尺寸及颗粒数。
技术研发人员：普莉娜·古拉迪雅;桑克萨·博伊亚尔;罗伯特·简·维瑟;维杰·班·夏尔马;雷努卡·沙哈内
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2017.11.07
技术公布日：2019.06.25