蚀刻方法与流程

技术特征：

技术总结
一种使用熔融碱来蚀刻基板的蚀刻方法，使用处于预定高温区域的熔融碱AL，一边在高温且含氧的环境下在基板PL的被蚀刻面形成氧化被膜，一边通过对被蚀刻面进行各向同性蚀刻从而除去氧化被膜。

技术研发人员：池野顺一;山田洋平;铃木秀树
受保护的技术使用者：信越聚合物株式会社;国立大学法人埼玉大学
技术研发日：2017.10.26
技术公布日：2019.10.01