碰撞电离离子源的制作方法

技术特征：

技术总结
本文公开了一种碰撞电离源。一个示例性的源包括：设置为接收气体和带电粒子束的电离区域，其中带电离子束电离至少部分气体；以及设置为将气体提供到电离区域的供应管道，其中供应管道具有从输入孔向输出孔减少的非均匀高度，输出孔邻近电离区域设置。

技术研发人员：G·A·施温德;A·P·J·M·波特曼;S·凯洛格;L·V·科文;L·米尔
受保护的技术使用者：FEI公司
技术研发日：2018.01.12
技术公布日：2018.07.20